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1．安裝簡單，操作方便；
2．自成獨立系統(tǒng)，可通過鋯窗與應(yīng)用真空系統(tǒng)隔離；
3．參數(shù)安全設(shè)定，符合CE標(biāo)準(zhǔn)；
4．可持久工作，維護費用低（只需電源和氙氣）。

德***AixUV公司是世界上第******提供商用實驗室極紫外光源的廠***。公司面向世界范圍提供基于等離子體技術(shù)的極紫外光，遠紫外光和X射線產(chǎn)品。
極紫外光（XUV）的波長在1納米到50納米之間，包括了通常所說的軟X射線和遠紫外光（EUV）。

廣泛用于：

●納米電子器件的實驗室制作
●納米電子工業(yè)的光刻和工藝優(yōu)化（如光刻膠優(yōu)化）
●作為比同步輻射更強烈的光源用于表面物理和表面化學(xué)分析研究
 

1．2 J / pulse electrical input
2．> 0.4 mJ / sr / pulse EUV inband
3．< 500 mm source diameter FWHM
4．> 50 Hz Reprate
5．Permanent operation 7 days / 24 h
6．Guaranteed 100.000.000 pulses；
Tested up to 230.000.000（> 1200 hours）
7．Flexible head orientation