美***InstruTech真空計(jì)
InstruTech公司位于美***的科羅拉多州,是致力于真空測(cè)量和控制儀器的設(shè)計(jì)、制造和服務(wù)的專業(yè)公司。InstruTech公司的真空計(jì)采用 進(jìn)的真空技術(shù)設(shè)計(jì),可以提供2.00E-11 Torr到1000 Torr的測(cè)量范圍。InstruTech公司的真空計(jì)和真空控制器系列產(chǎn)品包括:增強(qiáng)型皮拉尼真空計(jì),熱陰 電離真空計(jì)(hot cathode Bayard-Alpert)和冷陰 雙控磁電離真空計(jì)。InstruTech公司的理念是提供多功能, 高可靠性的高性價(jià)比真空計(jì)。因此,InstruTech所提供的真空計(jì)及真空控制器 大程度上節(jié)約了成本,從而提高產(chǎn)品的性價(jià)比。InstruTech真空計(jì)主要用于:半導(dǎo)體制備、薄膜沉積、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備制造、政府和學(xué)術(shù)研究機(jī)構(gòu)、分析化學(xué)、真空加工、工業(yè)中。
產(chǎn)品范圍:
美***InstruTech真空計(jì)、InstruTech真空控制器、InstruTech、InstruTech電離真空計(jì)、InstruTech增強(qiáng)型對(duì)流真空計(jì)
主要型號(hào):
IGM402、WGM701、IGM401、CCM502、CCM501、BA600、PCM301、CVM201、CVM211、CVG101、CDM900、VSM100、VGC301
B-RAX™ 3000系列:B-RAX 3400、B-RAX 3300、B-RAX 3200
美***InstruTech CCM501冷陰 雙反磁控管電離真空計(jì)簡(jiǎn)介:
產(chǎn)品特點(diǎn):
寬泛的測(cè)量范圍:1.00E-8 Torr到1.00E-2 Torr
內(nèi)置控制器及OLED數(shù)字顯示
用戶可根據(jù)需求對(duì)單位(Torr,mbar,Pa )進(jìn)行變換
雙反磁控管技術(shù)提供增強(qiáng)的敏感性
傳感器可輕松拆卸清洗
改進(jìn)傳感器信噪比為整個(gè)測(cè)量范圍提供了穩(wěn)定性
配置3個(gè)對(duì)數(shù)線性模擬輸出,3個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器和標(biāo)準(zhǔn)RS485串行接口
可選擇多種尺寸的配件—NW16KF,NW25KF,NW40KF,1 1/3 in. Mini- Conflat®,和2 3/4 in. Conflat®
技術(shù)參數(shù):
測(cè)量范圍
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1×10-8~1×10-2Torr
1.3×10-8~1.3×10-2mbar
1.3×10-6~1.3Pa
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精確度(N2)
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+30%
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重復(fù)測(cè)量誤差
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+5%
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顯示
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明亮黃色OLED顯示,2位數(shù)字+1位指數(shù),可變換單位
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過(guò)壓保護(hù)
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廠***默認(rèn)設(shè)定在5 x 10-10 Torr儀器關(guān)閉
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內(nèi)部容積
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1.965 in3(32.2 cm3)
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溫度
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工作溫度:0~40℃ 存儲(chǔ)環(huán)境溫度:-40~70℃
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烘烤溫度
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150℃(***于表,電子元件不可)
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濕度
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0~95% RH,非冷凝
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重量
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配置NW25KF法蘭:1.7 Ib.(0.77kg)
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串行通信接口
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標(biāo)準(zhǔn) RS485, 小指令間隔:50 ms
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燈絲控制
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選擇1個(gè)還是2個(gè)燈絲工作,通過(guò)操作顯示屏按鈕調(diào)節(jié),或者通過(guò)RS485串行通訊
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輸入功率
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20-28VDC,7.2W(max)
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美***InstruTech BA603電離真空計(jì)簡(jiǎn)介:
產(chǎn)品特點(diǎn):
電阻熱及電子轟擊兩種除氣方式
寬泛的量程 :4 x 10-10to 1 x 10-3 Torr
堅(jiān)固的雙螺旋鎢網(wǎng)格
可選擇多種法蘭接口:3/4 in. and 1 in. diameter Kovar, 25KF, 40KF, 1 1/3 in. Mini-Conflat® and 2 3/4 in. Conflat®
技術(shù)參數(shù):
測(cè)量范圍
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4 x 10-10to 1 x 10-3 Torr
5.3 x 10-10to 1.3 x 10-3 mbar
5.3 x 10-8 to 1.3 x 10-1 Pa
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精確度
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+20% of reading
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X射線 限
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24x 10-11 Torr
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除氣-電子轟擊
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100W(max)
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除氣-電阻熱
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6.3-7.5 VAC,10A
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燈絲電流
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4.0-6.0 A
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燈絲電壓
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3.0-5.0 V
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燈絲電位
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+30 VDC
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柵 電位
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+180 VDC
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收集 電位
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0V
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烘烤溫度
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450℃
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收集
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鎢絲,直徑0.010 in.
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燈絲
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單根/雙根 鍍銥(或鎢)氧化釔
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柵格
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堅(jiān)固的雙螺旋鎢制 0.025 in.
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緣元件
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陶瓷
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長(zhǎng)度
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全長(zhǎng) 6.0 in.
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可選法蘭
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3/4 in. diameter Kovar
1 in. diameter Kovar
NW25KF, NW40KF
1 1/3 in. Mini-Conflat®
2 3/4 in. Conflat®
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美***InstruTech VCG301 真空控制器產(chǎn)品特點(diǎn):
寬泛的測(cè)量范圍
可控制CVG101真空傳感器
使用更省空間的1/8 針面板
可任意更換單位(Torr/mTorr, bar/mbar, Pa)
1個(gè)模擬輸出,2個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器,RS232/RS485串行通訊接口
可以與GP Convectron真空傳感器配合使用
VCG301 真空控制器技術(shù)參數(shù):
測(cè)量范圍
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1.0 x 10-4 ~ 1000 Torr
1.3 x 10-4 ~ 1333 mbar
1.3 x 10-2 ~ 133 kPa
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顯示
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OLED,4位數(shù)字
( 4 位數(shù)字從 100mTorr 到 1100Torr ; 3 位數(shù)字從 10.0 到 100mTorr ; 2 位數(shù)字從 1.0 到 10mTorr )
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顯示更新率
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0.5秒
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重量
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9 OZ.(250g)
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工作溫度
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0-40℃
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工作濕度
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0-95%,非冷凝
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電子連接器
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真空傳感器: 9- 針 D 型 內(nèi)螺紋
模擬輸出和數(shù)字串口: 9- 針 D 型外螺紋
繼電器輸出: 6- 針接線盒
電源:通用的交流和 2- 針直流接線盒
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輸入功率
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12-30VDC,2W(max)
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