美***InstruTech
電離真空計
InstruTech公司位于美***的科羅拉多州，是致力于真空測量和控制儀器的設(shè)計、制造和服務(wù)的專業(yè)公司。InstruTech公司的真空計采用 進的真空技術(shù)設(shè)計，可以提供2.00E-11 Torr到1000 Torr的測量范圍。InstruTech公司的真空計和真空控制器系列產(chǎn)品包括：增強型皮拉尼真空計，熱陰 電離真空計（hot cathode Bayard-Alpert）和冷陰 雙控磁電離真空計。InstruTech公司的理念是提供多功能， 高可靠性的高性價比真空計。因此，InstruTech所提供的真空計及真空控制器 大程度上節(jié)約了成本，從而提高產(chǎn)品的性價比。InstruTech真空計主要用于：半導(dǎo)體制備、薄膜沉積、數(shù)據(jù)存儲設(shè)備制造、政府和學(xué)術(shù)研究機構(gòu)、分析化學(xué)、真空加工、工業(yè)中。
產(chǎn)品范圍：
美***InstruTech真空計、InstruTech真空控制器、InstruTech、InstruTech電離真空計、InstruTech增強型對流真空計
主要型號：
IGM402、WGM701、IGM401、CCM502、CCM501、BA600、PCM301、CVM201、CVM211、CVG101、CDM900、VSM100、VGC301
B-RAX™ 3000系列：B-RAX 3400、B-RAX 3300、B-RAX 3200
美***InstruTech CCM501冷陰 雙反磁控管電離真空計簡介：
產(chǎn)品特點：
寬泛的測量范圍：1.00E-8 Torr到1.00E-2 Torr
內(nèi)置控制器及OLED數(shù)字顯示
用戶可根據(jù)需求對單位（Torr，mbar，Pa ）進行變換
雙反磁控管技術(shù)提供增強的敏感性
傳感器可輕松拆卸清洗
改進傳感器信噪比為整個測量范圍提供了穩(wěn)定性
配置3個對數(shù)線性模擬輸出，3個設(shè)定點繼電器和標(biāo)準(zhǔn)RS485串行接口
可選擇多種尺寸的配件—NW16KF，NW25KF，NW40KF，1 1/3 in. Mini- Conflat®，和2 3/4 in. Conflat®
技術(shù)參數(shù)：
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測量范圍
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1×10-8～1×10-2Torr
1.3×10-8～1.3×10-2mbar
1.3×10-6～1.3Pa
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精確度（N2）
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+30%
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重復(fù)測量誤差
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+5%
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顯示
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明亮黃色OLED顯示，2位數(shù)字+1位指數(shù)，可變換單位
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過壓保護
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廠***默認設(shè)定在5 x 10-10 Torr儀器關(guān)閉
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內(nèi)部容積
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1.965 in3（32.2 cm3）
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溫度
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工作溫度：0~40℃ 存儲環(huán)境溫度：-40~70℃
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烘烤溫度
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150℃（***于表，電子元件不可）
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濕度
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0~95% RH，非冷凝
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重量
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配置NW25KF法蘭：1.7 Ib.（0.77kg）
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串行通信接口
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標(biāo)準(zhǔn) RS485， 小指令間隔：50 ms
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燈絲控制
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選擇1個還是2個燈絲工作，通過操作顯示屏按鈕調(diào)節(jié)，或者通過RS485串行通訊
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輸入功率
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20-28VDC，7.2W（max）
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美***InstruTech BA603電離真空計簡介：
產(chǎn)品特點：
電阻熱及電子轟擊兩種除氣方式
寬泛的量程 ：4 x 10-10to 1 x 10-3 Torr
堅固的雙螺旋鎢網(wǎng)格
可選擇多種法蘭接口：3/4 in. and 1 in. diameter Kovar, 25KF, 40KF, 1 1/3 in. Mini-Conflat® and 2 3/4 in. Conflat®
技術(shù)參數(shù)：
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測量范圍
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4 x 10-10to 1 x 10-3 Torr
5.3 x 10-10to 1.3 x 10-3 mbar
5.3 x 10-8 to 1.3 x 10-1 Pa
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精確度
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+20% of reading
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X射線 限
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24x 10-11 Torr
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除氣-電子轟擊
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100W（max）
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除氣-電阻熱
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6.3-7.5 VAC，10A
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燈絲電流
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4.0-6.0 A
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燈絲電壓
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3.0-5.0 V
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燈絲電位
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+30 VDC
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柵 電位
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+180 VDC
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收集 電位
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0V
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烘烤溫度
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450℃
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收集
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鎢絲，直徑0.010 in.
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燈絲
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單根/雙根 鍍銥（或鎢）氧化釔
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柵格
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堅固的雙螺旋鎢制 0.025 in.
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緣元件
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陶瓷
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長度
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全長 6.0 in.
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可選法蘭
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3/4 in. diameter Kovar
1 in. diameter Kovar
NW25KF, NW40KF
1 1/3 in. Mini-Conflat®
2 3/4 in. Conflat®
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美***InstruTech VCG301 真空控制器產(chǎn)品特點：
寬泛的測量范圍
可控制CVG101真空傳感器
使用更省空間的1/8 針面板
可任意更換單位（Torr/mTorr, bar/mbar, Pa）
1個模擬輸出，2個設(shè)定點繼電器，RS232/RS485串行通訊接口
可以與GP Convectron真空傳感器配合使用
VCG301 真空控制器技術(shù)參數(shù)：
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測量范圍
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1.0 x 10-4 ~ 1000 Torr
1.3 x 10-4 ~ 1333 mbar
1.3 x 10-2 ~ 133 kPa
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顯示
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OLED,4位數(shù)字
（ 4 位數(shù)字從 100mTorr 到 1100Torr ； 3 位數(shù)字從 10.0 到 100mTorr ； 2 位數(shù)字從 1.0 到 10mTorr ）
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顯示更新率
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0.5秒
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重量
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9 OZ.（250g）
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工作溫度
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0-40℃
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工作濕度
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0-95%，非冷凝
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電子連接器
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真空傳感器： 9- 針 D 型 內(nèi)螺紋
模擬輸出和數(shù)字串口： 9- 針 D 型外螺紋
繼電器輸出： 6- 針接線盒
電源：通用的交流和 2- 針直流接線盒
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輸入功率
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12-30VDC，2W（max）
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滬公網(wǎng)安備31011502016460號
