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MF-200C INHA氣體質(zhì)量流量控制器

價  格:詢價

產(chǎn)  地:山西更新時間:2020-11-03 13:57

品  牌:山西仁荷型  號:MF-200C

狀  態(tài):正常點擊量:2996

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INHA質(zhì)量流量控制器可測量腐蝕性氣體,結(jié)構(gòu)緊湊,重復(fù)性高,響應(yīng)時間快,性價比高,可廣泛用于設(shè)備配套。


自主開發(fā)研制的產(chǎn)品質(zhì)量流量計,是***種先進的智能精密質(zhì)量流量測量儀表。該流量計可直接用來測量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。 該流量計即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。其內(nèi)部沒有活動部件,不需復(fù)雜的安裝,對工況條件也沒有苛刻的要求。具有抗干擾能力強,測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低,壓力損失小等優(yōu)點,且易清洗、具備自排空功能;適用于實時在線測量和實時在線監(jiān)控。其基本技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到***際先進水平,具有非常廣闊的發(fā)展及應(yīng)用前景。 每臺傳感器都由不銹鋼材料制造,變送器的多種輸出能滿足您的各種需要。   


產(chǎn)品參數(shù)

用途和特點

氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場合包括:電子工藝設(shè)備,如:氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。

主要技術(shù)指標(biāo)

 

編號

項目

MF-200C

MF-200M

1

流量規(guī)格(N2)

10sccm~30slpm

2

準(zhǔn)確度

±1%F.S(Full Scale)

3

重復(fù)精度

±0.25%F.S(Full Scale)

4

響應(yīng)時間

≤2sec(特別要求時:≤1sec)

5

耐壓

≤90bar

6

工作環(huán)境溫度

0℃~50℃

7

輸入輸出信號

0~5V

0~5V or 4~20mA

8

供電

+15Vdc or +24Vdc   350mA

9

漏率

1×10atm.cc/sec

10

使用范圍

2~100%滿量程

 

結(jié)構(gòu)

氣體質(zhì)量流量計由流量傳感器(Sensor),分流器通道和流量放大電路等部件組成;在氣體質(zhì)量流量計的基礎(chǔ)上,再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。




產(chǎn)品介紹



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