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APEX納米劃痕儀：

美***CETR公司***新技術(shù)納米劃痕儀。本公司還提供其他劃痕儀，包括：

超納米劃痕儀，超納米劃痕儀，超納米劃痕儀，超納米劃痕儀，超納米劃痕儀，超納米劃痕儀。

環(huán)境劃痕儀，環(huán)境劃痕儀，環(huán)境劃痕儀，環(huán)境劃痕儀，環(huán)境劃痕儀，環(huán)境劃痕儀。

1. 上/下樣品臺可以獨立的實現(xiàn)多種運動模式：線性運動、旋轉(zhuǎn)運動、振動，還可以通過軟、硬件實現(xiàn)各種復(fù)雜的復(fù)合運動模式；

2．獨特的動態(tài)加載：（獨特的閉環(huán)的伺服加載）

       恒力加載模式、線性增量加載模式，通過軟件實現(xiàn)對樣品的任意動態(tài)加載模式。

       這種動態(tài)加載方式在高低溫控制條件下同樣適用。

3．納米壓痕儀和納米劃痕儀以及成像系統(tǒng)共用***測試平臺

       可以同時實現(xiàn)壓痕和劃痕測試，不需要更換壓劃頭或部件。真正意義上的原位成像。

4．微金剛石鏟子：（美***CETR公司擁有獨***專利）

可實現(xiàn)薄膜與基體準確的結(jié)合力測試。薄膜與基體結(jié)合力更加準確的測試方法：傳統(tǒng)結(jié)合力是借助圓錐形的探針做劃痕試驗來獲得，這種方法得到的結(jié)合力更多的上反映的是膜材本身的強度，而并非真正意義上的結(jié)合力。微金剛石鏟子可以很準確的對結(jié)合力進行測試。

5．能按照所有的ASTM標準和多種ISO的標準進行測試。

加載系統(tǒng)：精確的自動伺服控制加載，可恒力加載或連續(xù)線性加載。

針尖：

絡(luò)氏和維氏金剛石壓頭（Rockwell and Vickers Indenter）。

金剛石壓頭（Diamond Stylus）：2-200 mm。

碳化物、藍寶石、鐵球（Tungsten carbide, sapphire, steel balls）：1.5-25 mm。

鋼針（Steel needles）：0.1-1 mm。

專利技術(shù)，微金剛石鏟子（Patented micro-blades）：0.4-1.0 mm。

載荷范圍：1μN-10N，1mN-200N，0.1N-1kN。

分辨率：1μN。

劃痕速度：1μm/s-10mm/s，( 100mm/s 可選)

傳感器：

聲發(fā)射: 高頻能達到5.5MHz。

摩擦系數(shù)。

表面接觸電阻。

用于微觀圖像的數(shù)字式光學(xué)顯微鏡：550X。

CCD相機：視頻及靜止圖像。

表面形貌觀察及檢測：原子力顯微鏡或三維形貌儀。

劃痕模式: 通過獨特的閉環(huán)的伺服機械系統(tǒng)實現(xiàn)準確動態(tài)加載，可以提供恒力加載模式、線性增量加載模式和通過軟件實現(xiàn)對樣品的任意動態(tài)加載模式。

可實時記錄法向力／摩擦力／穿透深度／聲發(fā)射信號，從而可對實際樣品準確可靠的獲得膜與基底的結(jié)合力，或研究薄膜或其他樣品表面的摩擦／磨損行為。

實時在線的光學(xué)顯微鏡觀察及紀錄

樣品形狀：任何形狀

樣品尺寸：1μm – 任意尺寸

E：原子力顯微鏡（AFM）

閉環(huán)壓電陶瓷掃描平臺，機械噪音極低。

接觸式原子力顯微鏡

半接觸式原子力顯微鏡

真正非接觸式原子力顯微鏡

橫向力/摩擦力顯微鏡（LFM）

導(dǎo)電原子力顯微鏡

磁力顯微鏡（MFM），開爾文探針（Kelvin Probe）

電容和靜電力顯微鏡（EFM）

高級的納米光刻和納米操作能力

高速數(shù)據(jù)采集，高速三維掃描。

粗糙度測量，適用于高精度拋光表面和粗糙的機加工表面。

劃痕、磨痕高度、寬度和體積測量。

表面缺陷分析。

掃描范圍：180μm×180μm×14μm。

水平分辨率：0.02nm。

垂直分辨率：0.1nm。

該儀器可廣泛的應(yīng)用于材料科學(xué)、薄膜涂層、生物、化工、石油、微電子、微型傳感器、半導(dǎo)體材料、自動控制、航空航天、汽車工業(yè)及機械工具的材料研究和開發(fā)，還可以應(yīng)用于工業(yè)產(chǎn)品的失效與可靠性的評價、質(zhì)量控制及檢驗；也可以按所有的ASTM 和多種ISO的標準進行試驗測量。同時也可以向各類不同領(lǐng)域中的用戶提供檢測服務(wù)。

UMT具有長期的穩(wěn)定性和可重復(fù)性，可以對各種薄膜/涂層通過壓/劃/磨等測試其結(jié)合強度、薄膜彈性模量、薄膜壽命/失效分析、顯微（納米）硬度、顯微（納米）劃痕、三維表面形貌、表面粗糙度、斷裂韌性、蠕變、潤滑/抗磨特性、抗沖擊能力、抗劃痕能力、耐腐蝕性能、失效以及疲勞等等。