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MicronX 設(shè)計(jì)的有如下特點(diǎn)：
精密的光學(xué)系統(tǒng)
變焦， 激光輔助聚焦， 和計(jì)算機(jī)發(fā)生的十字線能對(duì)極小的部件和結(jié)構(gòu)精密定位。
應(yīng)用界面的設(shè)計(jì)者
用戶可用圖標(biāo)板創(chuàng)建專用的應(yīng)用界面。
報(bào)告樣板
創(chuàng)建用戶的報(bào)告格式或者摁***鍵選用***種專業(yè)的質(zhì)量報(bào)告。
XYZ樣品臺(tái)和2M/3M分布圖
可編程選項(xiàng)和部件固定的自動(dòng)成批測(cè)量。
圖案識(shí)別
自動(dòng)快速和精確。
統(tǒng)計(jì)工具
包括平均值， 標(biāo)準(zhǔn)偏差， 百分偏差，Pp/Ppk， Min/Max， 直方圖, 趨勢(shì)線，和R-圖。 可將數(shù)據(jù)傳入Excel和其它程序。
部件號(hào)編碼
可選用部件號(hào)或工號(hào)為應(yīng)用編碼。
 

更小,更快,更薄
MicronX系統(tǒng)是專門為靈活應(yīng)用設(shè)計(jì)的強(qiáng)有力的測(cè)量工具。使用Thermo獨(dú)創(chuàng)的， 技術(shù)先進(jìn)的硬件和軟件， MicronX系統(tǒng)能夠比其它EDXRF儀器測(cè)量更小的面積， 更薄的鍍層并且更快。 MicronX系統(tǒng)能夠接受***多的金屬薄膜測(cè)量的挑戰(zhàn)。
X-射線能譜技術(shù)方面幾十年的經(jīng)驗(yàn)帶來(lái)了微束X-射線熒光的幾點(diǎn)創(chuàng)新：
激發(fā)光束的光學(xué)準(zhǔn)直器可以獲得***束特別明亮的的微束X-射線照在樣品表面
靈活和精密的樣品定位
***新的X-射線檢測(cè)技術(shù)
綜合， 易用的操作界面和應(yīng)用軟件
X-射線束準(zhǔn)直
光學(xué)準(zhǔn)直
這***革命性的技術(shù)發(fā)出小至 20微米， 強(qiáng)度和精度為傳統(tǒng)儀器的1000倍。 強(qiáng)度的增加可以減少測(cè)量時(shí)間—比機(jī)械準(zhǔn)直快100倍并且精度提高10倍。 光學(xué)準(zhǔn)直對(duì)微束應(yīng)用是極為重要的， 因?yàn)楦呔群涂焖賹?duì)它是基本的。
精密樣品定位
伺服驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)
為了高精度的樣品定位，MicronX系統(tǒng)采用線性編碼伺服驅(qū)動(dòng)的X-Y-Z樣品臺(tái)。 定位精度可以達(dá)到+/-5或+/-2微米。
硅片樣品臺(tái)有適合于125 mm至300 mm大小硅片的許多插板選購(gòu)件， 樣品臺(tái)的行程能達(dá)到300 mm硅片的任何***點(diǎn)。
專利的真空環(huán)境
Thermo專利的真空導(dǎo)管技術(shù)包括X-射線束發(fā)生和檢測(cè)系統(tǒng)， 而樣品在空氣中。 這種獨(dú)有的設(shè)計(jì)創(chuàng)造了***種和樣品室全部抽真空可以比擬的分辨率和靈敏度， 而且樣品操作快速， 方便。