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日立 FT9500系列 X射線熒光鍍層厚度測(cè)量儀

價(jià)  格：詢價(jià)

產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2020-12-15 09:33

品  牌：日立型  號(hào)：FT9500系列

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1865

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹

日立 FT9500系列 X射線熒光鍍層厚度測(cè)量儀

儀器簡介：

X射線發(fā)生系統(tǒng)為X射線聚焦光學(xué)系統(tǒng)（聚焦導(dǎo)管）與X射線源相結(jié)合，并且可以照射出實(shí)際照射直徑為0.1mmΦ以下高強(qiáng)度的X射線束。為此，可以對(duì)以往X射線熒光鍍層厚度測(cè)量儀由于照射強(qiáng)度不足而無法得到理想精度的導(dǎo)線架、插接頭、柔性線路板等微小部件及薄膜進(jìn)行測(cè)量。同時(shí)搭載高計(jì)數(shù)率、高分辨率的半導(dǎo)體檢測(cè)器，在測(cè)量鍍層厚度的同時(shí)，也能對(duì)RoHS、ELV、中***版RoHS等法規(guī)所管制的有害物質(zhì)進(jìn)行分析測(cè)量。



技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)FT9500FT9550FT9500L
測(cè)量元素Al（13）～Bi（83）
X射線源管電壓：50（可變更）kV
管電流： 10～1000 μA
檢測(cè)器半導(dǎo)體檢測(cè)器（無需液氮）
X射線聚光聚光導(dǎo)管方式
樣品觀察CCD攝像頭（帶變焦功能）
對(duì)焦激光對(duì)焦
濾波器***次濾波器：3個(gè)位置（自動(dòng)切換）
樣品區(qū)域X:240mm, Y:175mm
X:220mm, Y:150mm, Z:150mm		X:420mm, Y:330mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm		X:840mm, Y:540mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm
測(cè)量軟件薄膜FP法（***大5層、10種元素）、檢量線法、塊體FP法（材料組成分析）
安全功能樣品門聯(lián)鎖


1. 薄膜及多層膜測(cè)量

通過采用新型的毛細(xì)管（X射線聚光系統(tǒng)）和X射線源，把與以往機(jī)型FT9500同等強(qiáng)度的X射線聚集在30 μmΦ的極微小范圍。因此，不會(huì)改變測(cè)量精度即可測(cè)量幾十微米等***的微小范圍。
同時(shí)，也可對(duì)幾十納米等***的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進(jìn)行高精度測(cè)量。

2. 異物分析

通過高能量微小光束和高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器的組合，可進(jìn)行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線，通過與正常部分的能譜差進(jìn)行異物的定性分析（Al～U）。

3. 數(shù)據(jù)編輯功能

配備了Microsoft Excel和Microsoft Word。在Microsoft Excel上面配備了統(tǒng)計(jì)處理軟件，可以進(jìn)行測(cè)量數(shù)據(jù)、平均值、***大/***小值、C.V.值、Cpk等的統(tǒng)計(jì)處理。 另外，通過Microsoft Word可以簡單的制作包含了樣品畫圖的測(cè)量報(bào)告書。

4. 高強(qiáng)度照射

通過高強(qiáng)度照射在微小部分也可以鮮明的觀察、聚焦位置。

5. 樣品工作臺(tái)

配備等同與FT9550X的大型樣品臺(tái)，能夠?qū)Υ笮途€路板等樣品進(jìn)行整體排列測(cè)量對(duì)應(yīng)。





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