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FT110系列X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x

價(jià)  格：詢(xún)價(jià)

產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2020-12-15 09:41

品  牌：日立型  號(hào)：FT110系列

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1288

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話(huà)： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹

FT110系列X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x

1.即放即測(cè)！

2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測(cè)量！ 

3.可無(wú)標(biāo)樣測(cè)量！

4.通過(guò)樣品整體圖像更方便選擇測(cè)量位置！

 

1. 通過(guò)自動(dòng)定位功能提高操作性

測(cè)量樣品時(shí)，以往需花費(fèi)約10秒的樣品對(duì)焦，現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成，大大提高樣品定位的操作性。

2. 微區(qū)膜厚測(cè)量精度提高

通過(guò)縮小與樣品間的距離等，致使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。

3. 多達(dá)5層的多鍍層測(cè)量

使用薄膜FP法軟件，即使沒(méi)有厚度標(biāo)準(zhǔn)片也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層測(cè)量。

4. 廣域觀察系統(tǒng)（選配）

可從***大250×200mm的樣品整體圖像指定測(cè)量位置。

5. 對(duì)應(yīng)大型印刷線(xiàn)路板（選配）

可對(duì)600×600mm的大型印刷線(xiàn)路板進(jìn)行測(cè)量。

型號(hào)

FT110

測(cè)量元素

原子序號(hào)Ti（22）～Bi（83）

X射線(xiàn)源

空冷式小型X射線(xiàn)管
管電壓：50（可變更）kV
  管電流：10～1000μA

檢測(cè)器

比例計(jì)數(shù)管

準(zhǔn)直器

○型： 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ　他2種

樣品觀察

CCD攝像頭

對(duì)焦

激光對(duì)焦（自動(dòng)）

濾波器

***次濾波器（自動(dòng)切換）

樣品區(qū)域

[固定]535×530 mm
  [電動(dòng)] 260×210 mm (移動(dòng)量X:250 mm, Y:200   mm)

測(cè)量軟件

薄膜FP法（***大2層、10種元素）、檢量線(xiàn)法

安全功能

樣品室門(mén)聯(lián)鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能





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