光學NanoGauge C10178-02
價 格:詢價
產(chǎn) 地:更新時間:2020-12-15 10:28
品 牌:其他型 號: C10178-02
狀 態(tài):正常點擊量:2733
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產(chǎn)品介紹
詳細參數(shù)
型號 | C10178-02 |
可測膜厚范圍(玻璃) | 20 nm to 30 μm*1 |
測量可重復性(玻璃) | 0.02 nm*2 *3 |
測量準確性(玻璃) | ±0.4 %*3 *4 |
光源 | D2-Halogen light source |
光斑尺寸 | Approx. φ1 mm*3 |
工作距離 | 10 mm*3 |
可測層數(shù) | Max. 10 layers |
分析 | FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis |
測量時間 | 19 ms/point*5 |
光纖連接頭 | φ12 sleeve shape |
外部控制功能 | RS-232C, PIPE, Ethernet |
電源 | AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz |
功耗 | Approx. 210 VA |
測量波長范圍 | 200 nm to 950 nm |
接口 | USB 2.0 |
測量模式(特征) | supports UV |
*1 轉(zhuǎn)換時玻璃的折射率是1.5
*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標準偏差(公差)
*3 取決于光學系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)
*4 測量保證范圍同VLSI標準測量保證文件***致
*5 ***短曝光時間
產(chǎn)品特性
● 高速、高準確性(可測膜厚范圍(玻璃):20 nm-30μm)
● 實時測量
● 非恒定膜層的精確測量
● 分析光學常量(n, k)
● 可外部控制
● 可以使用特定附件測量量子產(chǎn)率,反射率,透射率和吸收率
外形尺寸(單位:mm)
產(chǎn)品優(yōu)勢
C10178型光學納米膜厚測量系統(tǒng)是***款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測量出薄膜厚度。濱松的產(chǎn)品使用多通道光譜儀PMA作為檢測器,測量各種光學濾光片和涂膜厚度的同時還可以測量量子產(chǎn)率,反射率,透射/吸收率等參數(shù)。
C10178-02支持UV(200 nm至950 nm)。