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光學(xué)NanoGauge C10178-03J

• 詳細(xì)參數(shù)

  型號	C10178-03J
  可測膜厚范圍（玻璃）	150 nm to 50 μm*1
  測量可重復(fù)性（玻璃）	0.05 nm*2 *3
  測量準(zhǔn)確性（玻璃）	±0.4 %*3 *4
  光源	Halogen light source
  光斑尺寸	Approx. φ1 mm*3
  工作距離	10 mm*3
  可測層數(shù)	Max. 10 layers
  分析	FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
  測量時間	19 ms/point*5
  光纖連接頭	φ12 sleeve shape
  外部控制功能	RS-232C, PIPE, Ethernet
  電源	AC100 V to AC120 V , 50 Hz/60 Hz
  功耗	Approx. 230 VA
  測量波長范圍	900 nm to 1650 nm
  測量模式（特征）	supports NIR

  
  

  *1 轉(zhuǎn)換時玻璃的折射率是1.5 
  
  *2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差） 
  
  *3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù) 
  
  *4 測量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件***致 
  
  *5 ***短曝光時間

  產(chǎn)品特性

  ● 高速、高準(zhǔn)確性（可測膜厚范圍（玻璃）：150 nm-50μm）
  

  
  

  ● 實時測量 
  

  
  

  ● 非恒定膜層的精確測量 
  

  
  

  ● 分析光學(xué)常量(n, k) 
  

  
  

  ● 可外部控制 
  

  
  

  ● 可以使用特定附件測量量子產(chǎn)率，反射率，透射率和吸收率

  外形尺寸（單位：mm）

  
  

  
  

  
  

  
  

  

• 產(chǎn)品優(yōu)勢

• 
  

  C10178型光學(xué)納米膜厚測量系統(tǒng)是***款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測量出薄膜厚度。C13027使用多通道光譜儀PMA作為檢測器，測量各種光學(xué)濾光片和涂膜厚度的同時還可以測量量子產(chǎn)率，反射率，透射/吸收率等參數(shù)。

  
  

  
  C10178-03J支持NIR（900 nm至1650 nm）。