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光學(xué)NanoGauge C12562-04

價  格：詢價

產(chǎn)  地：更新時間：2020-12-15 10:43

品  牌：其他型  號：C12562-04

狀  態(tài)：正常點擊量：1696

400-006-7520
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上海非利加實業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實業(yè)有限公司

電   話： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹

光學(xué)NanoGauge C12562-04 

詳細參數(shù)

型號C12562-04
可測膜厚范圍（玻璃）500 nm to 300 μm*1
測量可重復(fù)性（玻璃）0.02 nm*2 *3
測量準(zhǔn)確性（玻璃）±0.4 %*3 *4
光源Halogen light source
光斑尺寸Approx. φ1 mm*3
工作距離10 mm*3
可測層數(shù)Max. 10 layers
分析FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
測量時間3 ms/point*5
光纖連接頭FC
外部控制功能RS-232C, Ethernet
電源AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗Approx. 80 VA


*1 轉(zhuǎn)換時玻璃的折射率是1.5 

*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差） 

*3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù) 

*4 測量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件***致 

*5 ***短曝光時間

產(chǎn)品特性

● 測量范圍從薄膜厚度到總厚度 


● 縮短循環(huán)時間（***大100 Hz） 


● 外部觸發(fā)器增強（適用于高速測量） 


● 系統(tǒng)中新增簡化測量法


● 可進行表面分析 


● 非恒定膜層的精確測量 


● 分析光學(xué)常數(shù)（n, k） 


● 可外部控制

外形尺寸（單位：mm）


  • 產(chǎn)品優(yōu)勢


  • C12562型光學(xué)納米膜厚測量系統(tǒng)是***款小型緊湊、節(jié)省空間、安裝方便的非接觸式薄膜厚測量系統(tǒng)。在半導(dǎo)體工業(yè)中，硅通孔技術(shù)的普及使得硅厚度測量變得必不可少；在薄膜生產(chǎn)工業(yè)中，越來越高的產(chǎn)品需求使得粘合層薄膜的制作朝著越來越薄的方向發(fā)展。因此，這些工業(yè)領(lǐng)域需要更高精度、測量范圍可以覆蓋1μm到300μm的厚度測量系統(tǒng)。C12562可以對厚度范圍從0.5μm到300μm的薄膜進行精確測量，包括薄膜鍍層厚度和薄膜襯底厚度以及總厚度。C12562可以進行高達100 Hz的快速測量，因此非常適合高速生產(chǎn)線測量。





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