基于25年涂鍍層測(cè)量經(jīng)驗(yàn),在CMI900系列測(cè)厚儀的堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)上,引進(jìn)全新的設(shè)計(jì):
- 新100瓦X射線管 - 市場(chǎng)上所能提供的*強(qiáng)大的X射線管。提高30%測(cè)量精度,同時(shí)減少50%測(cè)量時(shí)間
- 更小的X射線光斑尺寸 - 新增15mil直徑準(zhǔn)直器,可測(cè)量電子器件上更小的部位。提供改進(jìn)的CCD攝像頭及縮放裝置,同時(shí)提供更高精度的Y軸控制。
- 距離獨(dú)立測(cè)量(DIM) - 更靈活地特殊形狀樣品,可在DIM范圍內(nèi)12.5-90mm(0.5-3.5inch)對(duì)樣品表面進(jìn)行測(cè)量,Z軸可控制范圍為230mm(9inch)??赏ㄟ^(guò)手動(dòng)調(diào)整也可以通過(guò)自動(dòng)鐳射聚焦來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的精確對(duì)準(zhǔn)。
- 自動(dòng)鐳射聚焦 - 自動(dòng)尋找振決的聚焦距離,改善DIM的聚焦過(guò)程并提高系統(tǒng)測(cè)量再現(xiàn)性。也可選擇標(biāo)準(zhǔn)的鐳射聚焦模式。
- 全新的大型樣品室 - 更大的開(kāi)槽式樣品室(580x510x230mm : 23x20x9inch),開(kāi)槽式設(shè)計(jì)可容納超大尺寸的樣品??蓮母鱾€(gè)方向簡(jiǎn)便的裝載和觀察樣品。
- 3種樣品臺(tái)選項(xiàng) - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移動(dòng)范圍)/XY手動(dòng)控制(250x250mm或10x10英寸)/固定樣品臺(tái);標(biāo)準(zhǔn)配置Z軸程控控制(230mm或9inch移動(dòng)范圍)。
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