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主動隔振臺

AVI-600 為緊湊型的主動隔振系統(tǒng)，是納米技術大型儀器隔振的***佳解決方案。對升***和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設備來說是理想的選擇，AVI-600 work station可自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸大小和配置，通過增加隔振模塊的數(shù)量可以增大系統(tǒng)的承重（***大承重可至9000磅）。 

工作原理

AVI系列主動隔振臺采用先進的隔振技術，適用于任何科研環(huán)境下，該隔振模塊可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和豎直方向），AVI系列主動隔振臺利用控制器內的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產(chǎn)生***個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用***個反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機械共振。

產(chǎn)品特點

主動隔振頻率 1Hz - 200Hz

被動隔振頻率>200Hz

5-20ms的響應時間

安裝簡單，容易使用

穩(wěn)定性高，能無故障連續(xù)使用多年

緊湊、模塊化的多功能設計

控制器帶數(shù)字LED顯示屏 

隔振范圍主動:1-200Hz ;被動: >200Hz

傳輸率超過10Hz< -35 dB

模塊尺寸W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600)

模塊重量60 KG / 132 Lbs
靜態(tài)柔度(每個模塊)
垂直方向約 12 μm / N
水平方向約 6 μm / N

系統(tǒng)噪聲低于50nG/√Hz

耗電量通常情況下為27 W（標配）

輸入電壓90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能監(jiān)控通過在示波器上顯示的一個多重信號表示各傳感部位是否隔振

AVI-600長x寬x高：11.3" x 28.4" x 4.5"450kg/ 990lbs

AVI-600 Extra長x寬x高：11.3" x 28.4" x 4.5"510kg/ 1122lbs

AVI-600 Plu長x寬x高：11.3" x 28.4" x 4.5"570kg/ 1254lbs

AVI-600 Ultr長x寬x高：11.3" x 28.4" x 4.5"630kg/ 1386lbs

AVI-600 S長x寬x高：11.3" x 15.6" x 4.4"450kg/ 990lbs

兼容性：

AVI-600 work station 主動隔振臺可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。 

主動隔振臺

AVI-600 為緊湊型的主動隔振系統(tǒng)，是納米技術大型儀器隔振的***佳解決方案。對升***和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設備來說是理想的選擇，AVI-600 work station可自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸大小和配置，通過增加隔振模塊的數(shù)量可以增大系統(tǒng)的承重（***大承重可至9000磅）。

工作原理

AVI系列主動隔振臺采用先進的隔振技術，適用于任何科研環(huán)境下，該隔振模塊可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和豎直方向），AVI系列主動隔振臺利用控制器內的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產(chǎn)生***個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用***個反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機械共振。

產(chǎn)品特點

主動隔振頻率 1Hz - 200Hz

被動隔振頻率>200Hz

5-20ms的響應時間

安裝簡單，容易使用

穩(wěn)定性高，能無故障連續(xù)使用多年

緊湊、模塊化的多功能設計

控制器帶數(shù)字LED顯示屏

產(chǎn)品應用

SEMTEM

UHV-SPM光刻

隧道顯微鏡Fabry-Perot干涉儀

大型對振動敏感的儀器設備

性能優(yōu)勢 

系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除

六個空間方向的自由隔振

系統(tǒng)內部反饋回路抑制所有機械共振

低頻隔振性能***

無低頻共振、無空氣要求