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奧林巴斯正置金相顯微鏡BX53M

價(jià)  格:詢(xún)價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-18 12:13

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因?yàn)橛形?,所以?huì)更好,成貫專(zhuān)業(yè)、誠(chéng)信、值得信賴(lài)

成貫儀器——顯微系統(tǒng)、光學(xué)儀器、外科手術(shù)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材等供應(yīng)商【(廖澤陽(yáng))15026562346】

成貫儀器(上海)有限公司是奧林巴斯顯微鏡、光學(xué)儀器、外科手術(shù)設(shè)備等供應(yīng)商,常年提供原裝日本(Japan)進(jìn)口的olympus奧林巴斯顯微鏡,客戶(hù)遍及上海,江蘇(蘇州、昆山、無(wú)錫、常州、南通、泰州、揚(yáng)州、南京、淮安、徐州),浙江(嘉興、湖州、杭州、紹興、寧波、臺(tái)州、溫州、義烏、金華、衢州),安徽(黃山、宣城、蕪湖、合肥、蚌埠、阜陽(yáng)),湖北(武漢、荊州、宜昌),湖南(長(zhǎng)沙、株洲、湘潭),江西(九江、南昌、樟樹(shù)、贛州),福建(寧德、三明、龍巖、福州、廈門(mén)、泉州),廣東(汕頭、惠州、深圳、東莞、廣州、佛山、中山、珠海),廣西(南寧、桂林),海南(???、三亞),貴州(貴陽(yáng)、遵義),云南(昆明、大理、麗江),西藏(拉薩)、新疆(烏魯木齊)、青海(西寧)、甘肅(蘭州、酒泉)、寧夏(銀川)、青海(西寧)、陜西(西安)、重慶、四川(成都、綿陽(yáng))、河南(焦作、鄭州、許昌、商丘、洛陽(yáng)),山西(太原、臨汾)、山東(威海、煙臺(tái)、青島、濰坊、淄博、濟(jì)南、泰安、臨沂),天津、河北(石***莊、邯鄲、秦皇島、唐山),北京、內(nèi)蒙古(呼和浩特、包頭、鄂爾多斯)、遼寧(大連、丹東、營(yíng)口、沈陽(yáng)、葫蘆島),吉林(吉林、長(zhǎng)春)、黑龍江(哈爾濱、大慶、牡丹江、雞西)等***內(nèi)大中城市。

為工業(yè)和材料學(xué)應(yīng)用而設(shè)計(jì)

奧林巴斯金相顯微鏡BX53M系列采用了模塊化設(shè)計(jì),為廣泛的材料學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了多樣化的解決方案。BX3M增強(qiáng)了與奧林巴斯Stream軟件的集成性,從而為常規(guī)顯微鏡檢查和數(shù)碼成像用戶(hù)提供了從觀察到報(bào)告創(chuàng)建的無(wú)縫工作流程。

奧林巴斯BX53M金相顯微鏡

 

高***的顯微觀察 便捷的顯微操作

用戶(hù)友好性

· 讓傳統(tǒng)技術(shù)易于操作:簡(jiǎn)單的照明器

· 直觀的顯微鏡控制:視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設(shè)置

· 快速找到焦點(diǎn):對(duì)焦刻度標(biāo)尺

· ***致的照明:智能光強(qiáng)管理

· 方便而人性化的操作

· 可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置:編碼硬件

· 基本測(cè)量功能

用戶(hù)友好性

 

功能性

· 讓未見(jiàn)變?yōu)榭梢?jiàn):MIX觀察

· 創(chuàng)建超景深圖像:EFI

· 輕松移動(dòng)載物臺(tái)即可進(jìn)行全景拍攝:即時(shí)MIA

· 同時(shí)捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié):HDR

· 可調(diào)整滿(mǎn)足觀察和分析的偏好要求

· 容納各類(lèi)樣品

MIX觀察

 

精密的光學(xué)元件

· 卓越的光學(xué)性能:波像差控制

· 穩(wěn)定的色溫和高強(qiáng)度白光LED照明

· 支持精密測(cè)量:自動(dòng)校準(zhǔn)

· 無(wú)縫拼接:圖像陰影校正

自動(dòng)校準(zhǔn)

 

全面可定制性

· 可滿(mǎn)足用戶(hù)要求的各種配置

· 模塊化設(shè)計(jì),構(gòu)建自己的系統(tǒng)

奧林巴斯金相顯微鏡BX53M

 

直觀的顯微鏡控制

顯微檢查任務(wù)常常需要用很長(zhǎng)的時(shí)間來(lái)調(diào)節(jié)顯微鏡設(shè)置、獲取圖像,以及進(jìn)行必要的測(cè)量,從而得到令人滿(mǎn)意的報(bào)告。用戶(hù)有時(shí)需要投入時(shí)間和金錢(qián)去完成專(zhuān)業(yè)的顯微鏡培訓(xùn),或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開(kāi)展工作。

奧林巴斯工業(yè)顯微鏡BX53M通過(guò)其優(yōu)良的設(shè)計(jì)和便捷的控制功能,簡(jiǎn)化了復(fù)雜的顯微檢查任務(wù)。用戶(hù)不需要長(zhǎng)時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX53M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性,程度減少了人為錯(cuò)誤。

 

舒適且便于使用

讓傳統(tǒng)技術(shù)易于操作:簡(jiǎn)單的照明器

照明器的設(shè)計(jì)程度減少了顯微鏡操作過(guò)程中所必須的復(fù)雜操作。 照明器前端的旋鈕使用戶(hù)能夠輕松地改變觀察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時(shí)快速切換*常用的觀察方法,比如從明場(chǎng)觀察到暗場(chǎng)觀察,到偏光觀察,以隨時(shí)改變不同類(lèi)型的分析。此外,可以旋轉(zhuǎn)檢偏鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單偏光觀察的調(diào)節(jié)。

照明器前端的旋鈕使用戶(hù)能夠輕松地改變觀察方法

操作者能夠在經(jīng)常使用的觀察方法之間快速切換(AlSi的拋光態(tài)樣品)

 



直觀的顯微鏡控制:視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設(shè)置

使用正確的孔徑光闌和視場(chǎng)光闌設(shè)置能夠獲得良好的圖像對(duì)比度,還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑。指示標(biāo)志可引導(dǎo)用戶(hù)根據(jù)觀察方法和所用物鏡進(jìn)行正確的設(shè)置。

使用正確的孔徑光闌和視場(chǎng)光闌設(shè)置能夠獲得良好的圖像對(duì)比度,還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑

 

快速找到焦點(diǎn):對(duì)焦刻度標(biāo)尺

機(jī)架上的對(duì)焦刻度標(biāo)尺可以讓操作者快速鎖定焦點(diǎn)。操作者不用通過(guò)目鏡查看樣品就可以大致地對(duì)準(zhǔn)焦點(diǎn),從而在檢查具有不同高度的樣品時(shí)節(jié)省了時(shí)間。

對(duì)焦刻度標(biāo)尺

 

***致的照明:智能光強(qiáng)管理

在初始設(shè)定時(shí),可以調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度,使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉(zhuǎn)換器的特定硬件配置匹配。

智能光強(qiáng)管理


傳統(tǒng)的光強(qiáng) 

傳統(tǒng)的光強(qiáng) 

傳統(tǒng)顯微鏡中,提高了放大倍率,以及使用需要更多光線的觀察方法后,圖像會(huì)變得更暗。

智能光強(qiáng)管理

 

改變放大倍率或觀察方法時(shí),顯微鏡自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)到正確值

改變放大倍率或觀察方法時(shí),顯微鏡自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)到正確值。

 

方便而人性化的操作

人性化設(shè)計(jì)對(duì)所有用戶(hù)都至關(guān)重要。無(wú)論是單機(jī)顯微鏡用戶(hù),還是集成了奧林巴斯Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統(tǒng)用戶(hù),都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設(shè)計(jì)的手動(dòng)控制器。簡(jiǎn)單的手動(dòng)開(kāi)關(guān)讓用戶(hù)能夠?qū)W⒂跇悠泛蜋z查工作本身。

 用于旋轉(zhuǎn)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的手動(dòng)開(kāi)關(guān) 手動(dòng)控制器曝光按鈕

用于旋轉(zhuǎn)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的手動(dòng)開(kāi)關(guān)      手動(dòng)控制器                    曝光按鈕

 

可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置:編碼硬件

BX53M采用了新的編碼功能,將顯微鏡的硬件設(shè)置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在***起。觀察方法、照明強(qiáng)度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動(dòng)控制器里。編碼功能可實(shí)現(xiàn)顯微鏡設(shè)置與每幅圖像***起自動(dòng)保存,從而可輕松完成此后的還原設(shè)置,以及為報(bào)表提供文檔記錄。既節(jié)省了操作者的時(shí)間,又程度地減小了使用不正確設(shè)置的概率。當(dāng)前的觀察設(shè)置總是清晰地顯示在手動(dòng)控制器和軟件上。

操作步驟

操作者A

操作者B

不同的操作者使用不同的設(shè)置

不同的操作者使用不同的設(shè)置

易于驗(yàn)證正確的設(shè)置

易于驗(yàn)證正確的設(shè)置

使觀察設(shè)置保持同步

使觀察設(shè)置保持同步

盡管操作者不同,但設(shè)置相同

盡管操作者不同,但設(shè)置相同

 

針對(duì)各種檢查和分析任務(wù)的功能

BX53M保留了常規(guī)顯微鏡檢查的傳統(tǒng)襯度對(duì)比法,比如明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光和微分干涉。隨著新材料的發(fā)展,現(xiàn)在可以使用的顯微鏡檢查技術(shù)來(lái)進(jìn)行更精確和更可靠的檢查,從而解決了以往很多使用傳統(tǒng)襯度對(duì)比法檢查時(shí)遇到的缺陷檢測(cè)方面的困難。新的照明技術(shù)和奧林巴斯Stream圖像分析軟件內(nèi)的圖像獲取選項(xiàng)為用戶(hù)提供了評(píng)估樣品、文檔記錄的更多選擇。

此外,BX3M還可用于比傳統(tǒng)型號(hào)更大、更重、更特殊的樣品。

 

MIX觀察:讓未見(jiàn)變?yōu)榭梢?jiàn)

BX3M的MIX觀察技術(shù)組合了明場(chǎng)和暗場(chǎng)照明方法。MIX照明滑塊中的LED光源,以定向暗場(chǎng)光線照射樣品。這種方式類(lèi)似于傳統(tǒng)暗場(chǎng)照明,但又可為L(zhǎng)ED的不同角度光線照射提供四分象限選擇功能。這種定向暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光、或偏光的組合稱(chēng)為MIX照明,有助于突出顯示缺陷和區(qū)分隆起與凹陷表面。

 

傳統(tǒng)的

明場(chǎng)將光線直接照射在樣品上,暗場(chǎng)則使光線沿物鏡的周?chē)鷱膫?cè)面照射樣品,突出顯示了劃痕和缺陷。

明暗場(chǎng)將光線

 

MIX觀察是通過(guò)***個(gè)環(huán)形LED光源來(lái)形成明場(chǎng)、熒光或偏光與定向暗場(chǎng)的組合。可以調(diào)節(jié)LED光源,選擇從哪個(gè)方向進(jìn)行照明。該方法可在傳統(tǒng)方法無(wú)法觀察的表面上獲得獨(dú)有的對(duì)比度并可突出表面特征。

環(huán)形LED光源

 

即時(shí)MIA:輕松移動(dòng)載物臺(tái)即可進(jìn)行全景拍攝

現(xiàn)在不需要電動(dòng)載物臺(tái),僅僅移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識(shí)別技術(shù)來(lái)生成全景圖像,為用戶(hù)提供了比單***畫(huà)面更廣闊的視野。

***枚硬幣的即時(shí)MIA圖像

***枚硬幣的即時(shí)MIA圖像。

 

EFI:創(chuàng)建超景深圖像

奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像(EFI)功能能夠獲取高度超過(guò)物鏡焦深的樣品圖像,把通過(guò)不同焦面的圖像疊加在***起,創(chuàng)建出***幅超景深圖像。可以使用手動(dòng)或電動(dòng)Z軸機(jī)構(gòu)來(lái)執(zhí)行EFI,并可創(chuàng)建***幅高度圖,以輕松地識(shí)別樣品結(jié)構(gòu)。也可以用Stream桌面版在離線時(shí)創(chuàng)建EFI圖像。

超景深圖像

 

HDR:同時(shí)捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)

高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)使用了的圖像處理技術(shù),能夠針對(duì)***幅圖像內(nèi)的亮度差異進(jìn)行調(diào)節(jié),從而減少了眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺(jué)效果,從而為用戶(hù)制作報(bào)告時(shí)提供專(zhuān)業(yè)完美的圖像。

燃油噴射器

借助HDR功能,同時(shí)清晰呈現(xiàn)出高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)
(樣品:燃油噴射器)

 

鎂切片

借助HDR功能,增強(qiáng)了對(duì)比度
(樣品:鎂切片)

 

的測(cè)量

常規(guī)或基礎(chǔ)測(cè)量功能

通過(guò)奧林巴斯Stream軟件可以實(shí)現(xiàn)多種測(cè)量功能,從而使用戶(hù)可以很輕松地從圖像中獲取有用的數(shù)據(jù)。在質(zhì)量控制和檢查時(shí)常常需要對(duì)圖像進(jìn)行測(cè)量。所有***別的奧林巴斯Stream 授權(quán)軟件都包括了交互式的測(cè)量功能,比如距離、角度、矩形、圓、橢圓和多邊形。所有測(cè)量結(jié)果都與圖像文件***起保存,用于今后的文件檢索。

常規(guī)或基礎(chǔ)測(cè)量功能

 

計(jì)數(shù)和測(cè)量

目標(biāo)探測(cè)和尺寸分布測(cè)量,是數(shù)碼圖像中*重要的應(yīng)用。Stream軟件使用閾值分割方法進(jìn)行目標(biāo)探測(cè),能夠可靠地從背景中分離目標(biāo)(比如顆粒、劃痕)。

計(jì)數(shù)和測(cè)量

 

材料解決方案

奧林巴斯Stream軟件提供了基于工作流程的直觀界面,可用于復(fù)雜的圖像分析。點(diǎn)擊按鈕即可快速、精確地執(zhí)行復(fù)雜的圖像分析任務(wù),并且符合*常用的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。由于明顯減少了重復(fù)任務(wù)的處理時(shí)間,因此材料學(xué)***們可以專(zhuān)注于分析和研究。還能夠在任何時(shí)候方便地添加用于夾雜物和標(biāo)準(zhǔn)評(píng)***圖對(duì)比的模塊化插件。

材料解決方案

 

3D測(cè)量

使用外部電動(dòng)對(duì)焦機(jī)構(gòu)時(shí),可以快速獲取EFI圖像,并以3D視圖顯示。獲取的高度數(shù)據(jù)可用于剖面上的3D測(cè)量,或通過(guò)單視圖進(jìn)行3D測(cè)量。

 粗糙度試驗(yàn)樣品 單視圖和3D剖面測(cè)量

3D表面視圖(粗糙度試驗(yàn)樣品)            單視圖和3D剖面測(cè)量

 

容納各類(lèi)樣品

可以容納更多的樣品類(lèi)型和尺寸

新型150×100mm載物臺(tái)在X方向上提供了比以前的型號(hào)更大的行程。再加上其載物臺(tái)板的平板式設(shè)計(jì),可以輕松地將大樣品,或多個(gè)樣品放置在載物臺(tái)上。載物臺(tái)板上開(kāi)有小孔,可用于固定樣品架。更大的載物臺(tái)為用戶(hù)提供了靈活性,使他們能夠在***臺(tái)顯微鏡上檢查更多的樣品,從而節(jié)省了寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間。可調(diào)節(jié)扭力的載物臺(tái)方便了高倍下窄視野的微調(diào)定位。

 

樣品高度和重量的高適應(yīng)性

BX53M105mm的樣品放置在載物臺(tái)上

BX53MRF-S

使用選配的模塊組件可以將105mm的樣品放置在載物臺(tái)上。由于改進(jìn)了調(diào)焦機(jī)構(gòu),因此顯微鏡可以容納*重6kg的總重量(樣品+載物臺(tái))。這就意味著B(niǎo)X3M可以檢查更大、更重的樣品,從而減少了實(shí)驗(yàn)室內(nèi)所需的顯微鏡數(shù)量。通過(guò)戰(zhàn)略性地將用于6英寸晶圓的旋轉(zhuǎn)托架放置在偏離中心的位置,在100mm行程范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí),用戶(hù)僅旋轉(zhuǎn)晶圓托架即可觀察整個(gè)晶圓表面。優(yōu)化了載物臺(tái)的扭力調(diào)節(jié),以便于使用,舒適的手柄使用戶(hù)更易于找到樣品的感興趣區(qū)域。

 

樣品尺寸大小的靈活性

奧林巴斯顯微鏡BXFM

BXFM

如果樣品太大,難以放置在常規(guī)顯微鏡載物臺(tái)上,則可以把用于反射光顯微鏡觀察的核心光學(xué)部件組裝到***個(gè)模塊化的系統(tǒng)里。這種模塊化系統(tǒng),就是BXFM,它可以通過(guò)***個(gè)支撐桿安裝在更大的支架上,或使用安裝托架安裝在另***臺(tái)儀器上。這就使用戶(hù)能夠充分利用奧林巴斯優(yōu)異的光學(xué)元件的優(yōu)勢(shì),即使其樣品在尺寸或形狀上都很獨(dú)特。

 

兼容ESD:保護(hù)電子裝置,防止受到靜電放電的影響

BX3M具有ESD靜電消除能力,防止電子裝置受到由人為或環(huán)境因素而導(dǎo)致的靜電的影響。

 

悠久歷史的尖端光學(xué)技術(shù)

奧林巴斯公司擁有高品質(zhì)光學(xué)儀器研發(fā)的悠久歷史,創(chuàng)造了多項(xiàng)光學(xué)質(zhì)量的記錄,保證了顯微鏡優(yōu)異的測(cè)量精度。

 

卓越的光學(xué)性能:波像差控制

使用顯微鏡進(jìn)行高***研究或系統(tǒng)集成時(shí),所有物鏡的光學(xué)性能必須標(biāo)準(zhǔn)化。奧林巴斯的UIS2物鏡提供了波像差控制,程度減小了會(huì)降低分辨率的像差,從而獲得的數(shù)值孔徑(NA)和工作距離(WD)性能指標(biāo)。

波像差控制



 

穩(wěn)定的色溫和高強(qiáng)度白光LED照明

BX3M為反射光和透射光照明提供了高強(qiáng)度的白光LED光源。無(wú)論強(qiáng)度是多少,LED都保持著***致的色溫。LED提供了高效而長(zhǎng)壽命的照明,是材料學(xué)檢測(cè)應(yīng)用的理想工具。

通過(guò)鹵素?zé)臬@得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng) 通過(guò)LED獲得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng)
通過(guò)鹵素?zé)臬@得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng)        通過(guò)LED獲得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng)

 

支持精密測(cè)量:自動(dòng)校準(zhǔn)

類(lèi)似于數(shù)碼顯微鏡,使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)也能夠?qū)嵤┳詣?dòng)校準(zhǔn)。自動(dòng)校準(zhǔn)消除了校準(zhǔn)過(guò)程中的人為變化因素,能夠獲得更可靠的測(cè)量結(jié)果。自動(dòng)校準(zhǔn)的算法采用多個(gè)測(cè)量點(diǎn)的平均值來(lái)自動(dòng)計(jì)算正確的校準(zhǔn)量。這就程度減小了不同操作者產(chǎn)生的差異,保持了***致的精確性,提高了定期驗(yàn)證的可靠性。

自動(dòng)校準(zhǔn)

 

無(wú)縫拼接:圖像陰影校正

可以用奧林巴斯Stream軟件完成陰影校正,以補(bǔ)償圖像角落四周的陰影。使用光強(qiáng)閾值設(shè)置時(shí),陰影校正提供了更精確的分析。此外,使用MIA拼接圖像時(shí),可以獲得更均勻的全景圖像。

圖像陰影校正
1 x 3 MIA圖像 (示例:薄膜濾色片上的殘留)

左側(cè)圖片:圖像拼接時(shí),原始圖像拼接處有陰影 
右側(cè)圖片:陰影校正后,整個(gè)視野照明均勻

 

應(yīng)用

反射光顯微鏡檢查涵蓋的應(yīng)用和行業(yè)非常廣泛,下面僅選擇了使用不同觀察方法效果的部分示例。

暗場(chǎng)觀察

暗場(chǎng)能夠觀察標(biāo)本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會(huì)反射這種光,而平整的部位則顯得很暗,因此缺陷部位就會(huì)清晰地顯示出來(lái)。用戶(hù)甚至可以識(shí)別出極細(xì)微的劃痕,或小到8nm***別的缺陷 – 比光學(xué)顯微鏡的分辨能力還要小。因此,暗場(chǎng)是檢測(cè)標(biāo)本上細(xì)微劃痕或缺陷,以及鏡面標(biāo)本(包括晶圓)的理想工具。

表面貼裝基板

表面貼裝基板:DF

 

微分干涉觀察

微分干涉是***種顯微鏡觀察技術(shù),這種技術(shù)把明場(chǎng)觀察所不能檢測(cè)到的標(biāo)本高度差,變?yōu)楦〉駹罨蛉S圖像,改善了圖像襯度。該技術(shù)使用了偏光,并有三種專(zhuān)門(mén)定制設(shè)計(jì)的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細(xì)微高度差的標(biāo)本的理想工具,包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤(pán)介質(zhì)和拋光晶圓表面。

球墨鑄鐵檢測(cè)

球墨鑄鐵檢測(cè):DIC

 

偏光觀察

這種顯微鏡觀察技術(shù)使用了由***套濾色片(檢偏鏡和起偏鏡)產(chǎn)生的偏光。標(biāo)本的特性直接影響顯微鏡反射光的強(qiáng)度。這種技術(shù)適用于金相組織(比如球墨鑄鐵上石墨生長(zhǎng)的形態(tài))、礦石、LCD和半導(dǎo)體材料。

絹云母

絹云母:POL

 

熒光

該技術(shù)用于通過(guò)專(zhuān)用濾色片激發(fā)塊照明,使標(biāo)本能夠發(fā)出熒光(發(fā)出不同波長(zhǎng)的光),特定的激發(fā)塊可用于特定的應(yīng)用。它適合于檢查半導(dǎo)體晶圓上的異物、光阻殘留物,以及通過(guò)熒光染料檢測(cè)裂縫??梢赃x配復(fù)消色差集光鏡系統(tǒng)的燈箱,以補(bǔ)償從可見(jiàn)光到近紅外光的色差。

半導(dǎo)體晶圓上的顆粒異物

半導(dǎo)體晶圓上的顆粒異物:FL

 

紅外光

IR觀察是非破壞性地檢查可以透過(guò)紅外光的硅材料或玻璃材料構(gòu)成的電子元器件內(nèi)部的方法。

電極切片

電極切片:IR

 

透射光觀察

對(duì)于透明樣品,比如LCD、塑料和玻璃材料,可以使用各種聚光鏡進(jìn)行透射光觀察。組建***個(gè)光學(xué)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)透射光明場(chǎng)和偏光進(jìn)行樣品檢查非常方便。

透射光觀察

 

完全系統(tǒng)化

模塊化的設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)多種配置,以滿(mǎn)足用戶(hù)的各種要求。

 

用于材料學(xué)的配置

BX53M反射和反射/透射觀察

BX53M IR觀察

BX3M系列有兩種顯微鏡機(jī)架,***種僅用于反射光,***種用于反射光和透射光組合。兩種機(jī)架都可配置手動(dòng)、編碼或電動(dòng)部件,并且都配備有ESD防靜電功能。

奧林巴斯金相顯微鏡BX53MRF-S 奧林巴斯金相顯微鏡BX53MTRF-S

BX53MRF-S配置圖例         BX53MTRF-S配置圖例

 

BX53M IR觀察

BX3M系列有兩種顯微鏡機(jī)架,***種僅用于反射光,***種用于反射光和透射光組合。兩種機(jī)架都可配置手動(dòng)、編碼或電動(dòng)部件,并且都配備有ESD防靜電功能。IR物鏡可用于透過(guò)硅材料成像,進(jìn)行半導(dǎo)體檢查和測(cè)量。配備了5倍到100倍紅外(IR)物鏡,提供了從可見(jiàn)光波長(zhǎng)到近紅外的像差校正。對(duì)于高放大倍率的物鏡,配備了LCPLN-IR系列帶校正環(huán)的物鏡,校正由樣品厚度導(dǎo)致的像差。使用***個(gè)物鏡即可獲取清晰的圖像。

奧林巴斯金相顯微鏡BX53M

BX53M規(guī)格(用于反射和反射/透射光組合)


BX53MTRF-S

BX53MRF-S

BXFM

光學(xué)系統(tǒng)

UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正)

顯微鏡機(jī)架

照明

反射/透射

反射

對(duì)焦

行程:25 mm 
每轉(zhuǎn)的微調(diào)行程:100 μm 
*小刻度:1 μm 
配有上限限位器,用于粗調(diào)手柄的扭力調(diào)節(jié)

行程:30 mm 
每轉(zhuǎn)的微調(diào)行程:200 μm 
*小刻度:2 μm 
配有用于粗調(diào)手柄的扭力調(diào)節(jié)

樣品高度

35 mm(不含高度適配器) 
75 mm(帶BX3M-ARMAD)

65 mm(不含高度適配器) 
105 mm(帶BX3M-ARMAD)

取決于安裝配置

觀察筒

寬視野FN22

倒像:雙目、三目、傾斜式雙目 
正像:三目、傾斜式雙目(來(lái)源:成貫儀器)

超寬視野FN26.5

倒像:三目(來(lái)源:成貫儀器)
正像:三目、傾斜式三目

反射光照明

常規(guī)觀察技術(shù)

BX3M-RLAS-S 
編碼,白光LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(帶對(duì)中裝置) 
BX3M-KMA-S 
白光LED,BF/DIC/POL/MIX FS,AS(帶對(duì)中裝置) 
BX3M-RLA-S 
100W鹵素?zé)?,白光LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(帶對(duì)中裝置), 
BF/DF切換時(shí)中密度濾色片聯(lián)動(dòng)

-

U-KMAS 
白光LED,100W鹵素?zé)?nbsp;
光纖照明,BF/DIC/POL/MIX

熒光

BX3M-URAS-S
編碼,100W汞燈,4孔位分光鏡組件轉(zhuǎn)換器,(標(biāo)準(zhǔn):WB, WG, WU+BF等) 
FS,AS(帶對(duì)中裝置),帶光閘裝置

透射光

白光LED 
阿貝/長(zhǎng)工作距離聚光鏡

-

物鏡轉(zhuǎn)換器

用于BF

六孔,對(duì)中六孔,七孔,編碼五孔(選配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器)

用于BF/DF

六孔,五孔,對(duì)中五孔,編碼五孔(選配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器)

載物臺(tái)

同軸左手(右手)操作載物臺(tái): 
76mm×52mm,采用扭力調(diào)節(jié) 
大型同軸左手(右手)操作載物臺(tái): 
100mm×105mm,帶Y軸鎖定裝置 
大型同軸右手操作載物臺(tái): 
150mm×100mm,帶扭力調(diào)節(jié)和Y軸鎖定裝置

-

重量

大約18.3 kg

(顯微鏡機(jī)架7.6 kg)

大約15.8 kg 
(顯微鏡機(jī)架7.4 kg)

大約11.1 kg 
 (顯微鏡機(jī)架1.9 kg)

 

BX53M規(guī)格(用于紅外觀察)


BX53MRF-S

BXFM

IR觀察筒

寬視野FN22

倒像:三目(來(lái)源:成貫儀器)

反射光照明

IR觀察

BX3M-RLA-S 
IR用100W鹵素?zé)?,BF/IR,AS(帶對(duì)中裝置) 
BX3M-URAS-S 
IR用100W鹵素?zé)?,BF/IR,AS(帶對(duì)中裝置)

U-KMAS 
IR用100W鹵素?zé)簦珺F/IR

物鏡轉(zhuǎn)換器

用于BF

六孔,對(duì)中六孔,七孔,編碼五孔(選配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器)

Stage   (X × Y)

同軸左手(右手)操作載物臺(tái): 
76mm×52mm,采用扭力調(diào)節(jié) 
大型同軸左手(右手)操作載物臺(tái): 
100mm×105mm,帶Y軸鎖定裝置 
大型同軸右手操作載物臺(tái): 
150mm×100mm,帶扭力調(diào)節(jié)和 
Y軸鎖定裝置

重量

大約18.9 kg(顯微鏡機(jī)架7.4 kg)

大約11.6 kg(顯微鏡機(jī)架1.9 kg)

 

BX53M規(guī)格(用于偏光觀察)

(來(lái)源:成貫儀器)

BX53MTRF-S

偏光中間附件
   (U-CPA或U-OPA)

寬視野FN22

倒像:雙目、三目、傾斜式雙目 
正像:三目、傾斜式雙目

勃氏鏡

可對(duì)焦(僅適用于U-CPA)

勃氏鏡視場(chǎng)光闌

直徑Ø3.4mm(固定)(僅適用于U-CPA)

切換正像鏡檢和錐光鏡檢時(shí)加入或退出勃氏鏡

滑塊位置 ● 進(jìn)入 
滑塊位置 ○ 退出 
(僅適用于U-CPA)

檢偏鏡插槽

旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插槽(U-AN360P-2)

檢偏鏡(U-AN360P-2)

可旋轉(zhuǎn)360°的撥盤(pán) 
可旋轉(zhuǎn)的*小角度0.1°

對(duì)中式物鏡轉(zhuǎn)換器(U-P4RE)

四孔,附對(duì)中裝置:1/4λ偏振片(U-TAD), 
試板(U-TP530) 和各種補(bǔ)色器均可連接補(bǔ)色器適配器(U-TAD)使用。

載物臺(tái)(U-SRP)

帶3點(diǎn)對(duì)中功能的偏光專(zhuān)用旋轉(zhuǎn)載物 
可旋轉(zhuǎn)360°,可鎖定在任何位置,360°每刻度遞增1° 
(*小分辨率6’,使用游標(biāo)尺) 
45°鎖定功能 
可安裝移動(dòng)標(biāo)本夾(U-FMP)

聚光鏡(U-POC-2)

消色差無(wú)應(yīng)力聚光鏡(U-POC-2),帶外擺式消色差頂部透鏡的可旋轉(zhuǎn)360°起偏鏡。 
“0°”刻度處的鎖定機(jī)構(gòu)可調(diào)節(jié)。 
NA0.9(頂部鏡頭內(nèi)擺) 
NA0.18(頂部鏡頭外擺) 
孔徑光闌:直徑從2mm到21mm可調(diào)節(jié)

重量

大約16.2 kg(顯微鏡機(jī)架7.6 kg)

 

BX53M/BXFM ESD裝置

 

部件(來(lái)源:成貫儀器)

顯微鏡機(jī)架:BX53MRF-S, BX53MTRF-S 
照明器:BX3M-KMA-S,BX3M-RLA-S,BX3M-URAS-S, BX3M-RLAS-S 
物鏡轉(zhuǎn)換器:U-D6BDRES-S,U-D6RE-ESD,U-D5BDREMC-ESD,U-5RES-ESD 
載物臺(tái):U-SIC4R2,U-SIC4L2,U-MSSP4


產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹



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