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奧林巴斯工具顯微鏡STM7

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因?yàn)橛形?,所以?huì)更好,成貫專業(yè)、誠(chéng)信、值得信賴

成貫儀器——顯微系統(tǒng)、光學(xué)儀器、外科手術(shù)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材等供應(yīng)商【(廖澤陽(yáng))15026562346】

成貫儀器(上海)有限公司是奧林巴斯顯微鏡、光學(xué)儀器、外科手術(shù)設(shè)備等供應(yīng)商,常年提供原裝日本(Japan)進(jìn)口的olympus奧林巴斯顯微鏡,客戶遍及上海,江蘇(蘇州、昆山、無錫、常州、南通、泰州、揚(yáng)州、南京、淮安、徐州),浙江(嘉興、湖州、杭州、紹興、寧波、臺(tái)州、溫州、義烏、金華、衢州),安徽(黃山、宣城、蕪湖、合肥、蚌埠、阜陽(yáng)),湖北(武漢、荊州、宜昌),湖南(長(zhǎng)沙、株洲、湘潭),江西(九江、南昌、樟樹、贛州),福建(寧德、三明、龍巖、福州、廈門、泉州),廣東(汕頭、惠州、深圳、東莞、廣州、佛山、中山、珠海),廣西(南寧、桂林),海南(???、三亞),貴州(貴陽(yáng)、遵義),云南(昆明、大理、麗江),西藏(拉薩)、新疆(烏魯木齊)、青海(西寧)、甘肅(蘭州、酒泉)、寧夏(銀川)、青海(西寧)、陜西(西安)、重慶、四川(成都、綿陽(yáng))、河南(焦作、鄭州、許昌、商丘、洛陽(yáng)),山西(太原、臨汾)、山東(威海、煙臺(tái)、青島、濰坊、淄博、濟(jì)南、泰安、臨沂),天津、河北(石***莊、邯鄲、秦皇島、唐山),北京、內(nèi)蒙古(呼和浩特、包頭、鄂爾多斯)、遼寧(大連、丹東、營(yíng)口、沈陽(yáng)、葫蘆島),吉林(吉林、長(zhǎng)春)、黑龍江(哈爾濱、大慶、牡丹江、雞西)等***內(nèi)大中城市。

值得高度信賴的STM7測(cè)量顯微鏡——

以長(zhǎng)達(dá)***個(gè)世紀(jì)之久的奧林巴斯技術(shù)為依托

STM7測(cè)量顯微鏡系列采用了歷代奧林巴斯的技術(shù),并借鑒了長(zhǎng)達(dá)***個(gè)多世紀(jì)顯微鏡研發(fā)和50多年測(cè)量顯微鏡研發(fā)的經(jīng)驗(yàn),品質(zhì)值得信賴。

• 卓越的光學(xué)技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)極細(xì)微樣品的逼真成像。

• 的測(cè)量技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的準(zhǔn)確測(cè)量。

• 自動(dòng)聚焦和聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)使測(cè)量更簡(jiǎn)單、更精確。

• 全面的可追溯系統(tǒng)可以提供可靠和可信賴的測(cè)量。

因此,多年來,奧林巴斯測(cè)量顯微鏡***直廣受用戶的青睞。

奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7

 

 

STM7通過整合光學(xué)顯微鏡和的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量

多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能

奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,此外,像差也被完全消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。 

明場(chǎng)圖像 暗場(chǎng)圖像
明場(chǎng)圖像               暗場(chǎng)圖像

 

微分干涉圖像 偏光圖像
微分干涉圖像            偏光圖像

 

花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性

為了進(jìn)***步保證測(cè)量精度,STM7系列采用了***個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性,使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平,同時(shí)確保程度地降低誤差。

STM7-LF FEM 分析

STM7-LF FEM分析

 

作為高度測(cè)量的先鋒,繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測(cè)量

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量,而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成為******成功開發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)光路
主動(dòng)反射,共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)光路

 

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

奧林巴斯通過***個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

測(cè)量顯微鏡溯源系統(tǒng)

測(cè)量顯微鏡溯源系統(tǒng)

 

STM7的陣容

每***種機(jī)型均配備0.1 μm讀數(shù)的3軸測(cè)量系統(tǒng)

手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型

奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7-SF

STM7-SF

配備50mm×50mm的載物臺(tái)或100mm×100mm的載物臺(tái)


奧林巴斯工具顯微鏡STM7-MF

STM7-MF

配備200mm×200mm的載物臺(tái)


奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7-LF

STM7-LF

配備300mm×300mm的載物臺(tái)

 

電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型

奧林巴斯工具顯微鏡STM7-SFA

STM7-SFA

配備50mm×50mm的載物臺(tái)或100mm×100mm的載物臺(tái) 


奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7-MFA

STM7-MFA

配備200mm×200mm的載物臺(tái)

 

奧林巴斯工具顯微鏡STM7-LFA 

STM7-LFA

配備300mm×300mm的載物臺(tái)

 

STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性

提供適合您樣品尺寸的載物臺(tái)

常見問題

·         短測(cè)量行程無法滿足較大樣品的測(cè)量需求。

·         目前為止,大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí),效率不高。

·         由于可測(cè)量的范圍窄,無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上,以實(shí)現(xiàn)***次性同時(shí)測(cè)量。

 

STM7解決方案

·         共有四種獨(dú)特的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100 mm,200 mm x 200 mm,和300 mm x 300 mm)。不管是大的樣品還是小的樣品,總有***款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。

·         采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng),并且可以在XY平面上自由穿梭。

·         300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

 

STM7-CS50載物臺(tái) STM7-CS100載物臺(tái)
 STM7-CS50(50mm x 50mm)      STM7-CS100(100mm x 100mm)


 
 

STM7-CS200載物臺(tái) STM7-CS300載物臺(tái)
 STM7-CS200(200 mm x 200 mm)   STM7-CS300(300 mm x 300 mm)
 
 

使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察

常見問題

·         大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以專用測(cè)量物鏡或?qū)S媒鹣?/span>物鏡,無法同時(shí)滿足多種觀察要求。

 

STM7解決方案

·         STM7可以通過安裝***個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后,便可使用金相物鏡。這意味著,STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在***臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過這種方式,無論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶選擇*佳的觀察方法。

 

測(cè)量物鏡

由于測(cè)量物鏡具有非常長(zhǎng)的工作距離,因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候,無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測(cè)量物鏡的低倍率能力,可以***次觀察到較大的視場(chǎng)。

可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是,在明場(chǎng)觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng),偏光和微分干涉觀察。

金相物鏡 電路板

金相物鏡

 

 明場(chǎng)圖像  暗場(chǎng)圖像

明場(chǎng)圖像                  暗場(chǎng)圖像

 

手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩種鏡架可供選擇

STM7系列包括手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩個(gè)系列

聚焦控制提供手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種可選方案。請(qǐng)根據(jù)樣品和測(cè)量?jī)?nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型,而不需要考慮載物臺(tái)的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺,各種型號(hào)STM7都可以對(duì)應(yīng)3軸測(cè)量。

 

手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型

手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了卓越的成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕,可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測(cè)量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。

手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型

 

電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型

使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作,同時(shí)電動(dòng)機(jī)型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。

電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型

 

***個(gè)具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測(cè)量顯微鏡的操作性

常見問題

·         其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無法快速找到相應(yīng)的操作單元,因而顯著降低測(cè)量效率。

·         眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機(jī)的周圍,占用了寶貴的工作空間。

 

STM7解決方案

操作裝置

對(duì)于奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7系列,只要使用單***的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測(cè)量顯微鏡操作,包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提高效率和方便性,您可以將裝置放在任何想要放置的位置,并可以輕松地單手操作。

 

控制箱

各個(gè)單元的電源和通信均被集成在***個(gè)單***的控制箱中。即使是添加***些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設(shè)計(jì)可以程度地減少占用工作空間。

STM7-HS手動(dòng)操作裝置  
用于手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型:STM7-HS手動(dòng)操作裝置  

 

STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置

用于電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型:STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置

 

大大提高了觀察和測(cè)量效率的光源管理器

常見問題

·         傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。這樣每次測(cè)量時(shí)的光強(qiáng)無法保持***致,導(dǎo)致測(cè)量值也發(fā)生變化。

·         使用傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡時(shí),每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng),這使得工作流程非常低效。

 

STM7解決方案

能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示

STM7的光強(qiáng)可定量顯示,這樣就能保證始終在相同條件下實(shí)施觀察和測(cè)量。

STM7顯示器

 

物鏡切換時(shí),無需手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)
 光強(qiáng)度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會(huì)自動(dòng)識(shí)別目前使用的物鏡,結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)值功能,可以為每個(gè)物鏡注冊(cè)照明方式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后,可以自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次切換倍率后手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作,現(xiàn)在就可以省略了。

 

5x物鏡光強(qiáng) 50 20x物鏡光強(qiáng) 70 100x物鏡光強(qiáng) 120

 5x物鏡光強(qiáng)50       20x物鏡光強(qiáng)70     100x物鏡光強(qiáng)120
 
 

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器,確保能隨時(shí)迅速地檢查測(cè)量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。

常見問題

·         需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測(cè)量結(jié)果時(shí),因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。

 

STM7解決方案

能***目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器

計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈,可以簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的*小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。

計(jì)數(shù)器安裝在鏡架上

計(jì)數(shù)器安裝在鏡架上 

 

可滿足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器

無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺(tái)上,可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在優(yōu)選位置。當(dāng)用戶站著進(jìn)行測(cè)量時(shí),可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架***側(cè),以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過數(shù)碼相機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測(cè)量,或使用電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型時(shí),只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺(tái)上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)行作業(yè)。

計(jì)數(shù)器放置在工作臺(tái)上

計(jì)數(shù)器放置在工作臺(tái)上

 

自動(dòng)聚焦系統(tǒng)具有卓越的重復(fù)性

實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更精確的高度測(cè)量

常見問題

·         進(jìn)行目視測(cè)量時(shí),不同的操作者會(huì)測(cè)得不同的高度測(cè)量值。此外,這種測(cè)量方法非常耗時(shí),效率低下。

 

STM7解決方案

具有優(yōu)越的重復(fù)性、簡(jiǎn)單且高度精確的聚焦系統(tǒng)

通過將圖案投影在視場(chǎng)范圍內(nèi),由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí),即使是看上去非常清晰的已經(jīng)完全合焦的圖像,也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng),只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量,因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。

目視高度測(cè)量 
 目視高度測(cè)量

 

聚焦導(dǎo)航系統(tǒng) 
焦點(diǎn)下方 焦點(diǎn)位置 焦點(diǎn)上方

 焦點(diǎn)下方           焦點(diǎn)位置          焦點(diǎn)上方

 

自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢(shì)成就快速、高精度的高度測(cè)量

常見問題

·         進(jìn)行目視測(cè)量時(shí),不同的操作者得出的高度測(cè)量結(jié)果也會(huì)不***樣。

·         手動(dòng)高度測(cè)量需要操作者反復(fù)進(jìn)行移動(dòng)載物臺(tái),使用旋鈕調(diào)焦的操作,這使測(cè)量既耗時(shí)又低效。 

·         很難對(duì)微小的物體聚焦,比如引線。

 

STM7解決方案

專用自動(dòng)對(duì)焦單元:出色的再現(xiàn)性和聚焦速度

無論操作者的經(jīng)驗(yàn)如何,使用STM7專用自動(dòng)對(duì)焦單元均可以在*短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測(cè)量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面,利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定對(duì)焦,而小直徑的激光,也能保證對(duì)微小物體,比如引線的自動(dòng)對(duì)焦。

 

單次對(duì)焦模式

執(zhí)行自動(dòng)聚焦后,可瞬間完成從大致的聚焦?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)為視場(chǎng)中心的清晰對(duì)焦。

自動(dòng)聚焦 清晰對(duì)焦
 
 

追蹤模式

啟用具有特色的追蹤模式后會(huì)隨樣品表面的高低起伏自動(dòng)對(duì)焦,即使在移動(dòng)工作臺(tái)的情況下,也可以始終保持合焦?fàn)顟B(tài)。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實(shí)施觀察,從而極大地提高了Z軸的測(cè)量效率。

 

實(shí)現(xiàn)觀察與測(cè)量范圍拓展的配件

帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤

將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤與數(shù)碼照相機(jī)配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率,以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率時(shí)也能與軟件中記錄的校準(zhǔn)值和光強(qiáng)連動(dòng)調(diào)整設(shè)置。有明場(chǎng)物鏡和明暗場(chǎng)物鏡兩種供您選擇

編碼物鏡轉(zhuǎn)盤

 

MM6-EMO /正像單目鏡筒

正立圖像用單目鏡筒??膳cMM6-OCC10×(帶十字線的目鏡)配套使用。

MM6-EMO正像單目鏡筒

 

STM7-FS/ 腳踏開關(guān)

實(shí)現(xiàn)了不需要用手進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸,使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測(cè)量。

STM7-FS腳踏開關(guān)

 

SZ-LW61/ 白光LED照明單元

具有小型,輕便,使用壽命長(zhǎng),功耗低等特點(diǎn)。此外,這款高性價(jià)比的LED照明單元也不會(huì)發(fā)生閃爍和亮度波動(dòng)。

SZ-LW61白光LED照明環(huán)形燈

 

SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED環(huán)形照明裝置+手動(dòng)控制單元

SZX-RHS手動(dòng)控制單元可以實(shí)現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨(dú)立照明,并提供具有較高色溫的清晰圖像??梢詮?3種模式中選擇*佳的照明。

SZX2-ILR66 LED環(huán)形照明裝置

 

旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)

使用微調(diào)旋鈕可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的平行對(duì)齊。

STM7-RS100旋轉(zhuǎn)載物臺(tái) 

STM7-RS100用STM7-CS100 100 mm×100 mm載物臺(tái)


STM7-RS200旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)

STM7-RS200用于STM7-CS200 200 mm×200 mm載物臺(tái)

 

STM7-RS300旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)
STM7-RS300用于STM7-CS300 300 mm×300mm載物臺(tái)

 

專為更測(cè)量而設(shè)計(jì)的系統(tǒng)

測(cè)量支持系統(tǒng)

對(duì)于顯示測(cè)量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說,看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測(cè)量。推動(dòng)以更高精度實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的測(cè)量正是開發(fā)全新奧林巴斯測(cè)量軟件的原因所在。該軟件亦可與數(shù)碼相機(jī)結(jié)合使用。

測(cè)量系統(tǒng)

 

放置樣品后即可開始測(cè)量——無需將樣品平行對(duì)齊

直接測(cè)量

接受STM7輸出的坐標(biāo)信息進(jìn)行測(cè)量。

STM7直接測(cè)量STM7中心點(diǎn)計(jì)算


 

再調(diào)用測(cè)量

經(jīng)過測(cè)量或計(jì)算之后得到的坐標(biāo)還可以再用于隨后的測(cè)量。這樣就避免了重復(fù)同樣的工作,從而實(shí)現(xiàn)了更順暢和更高效的工作流程。

再調(diào)用測(cè)量

直線計(jì)算

 

虛擬點(diǎn)測(cè)量

通過繪制直線和圓形可以形成交點(diǎn)、中點(diǎn)、長(zhǎng)度,以及***系列其它的測(cè)量項(xiàng),然后可以在已采集的樣品圖像上將這些測(cè)量項(xiàng)作為參考點(diǎn)保留。

虛擬點(diǎn)測(cè)量

 

對(duì)齊測(cè)量

原點(diǎn)與X軸均可根據(jù)樣品而設(shè)置,這樣即使當(dāng)樣品沒有和載物臺(tái)對(duì)齊平行時(shí),也可以進(jìn)行測(cè)量。

對(duì)齊測(cè)量

 

原來的軸 新軸

原來的軸                 新軸

 

XZ平面測(cè)量

傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡以從俯視觀察到的XY平面的測(cè)量為主。為了響應(yīng)用戶從側(cè)視的角度測(cè)量斷面方向的需求,奧林巴斯在STM7-BSW中內(nèi)置了XZ平面測(cè)量功能。以前很難實(shí)施的測(cè)量現(xiàn)在已經(jīng)變得容易多了——例如半球形物體垂直截面的半徑測(cè)量,或與基準(zhǔn)線相比具有彎曲底部的凹槽的深度測(cè)量等。

XZ平面測(cè)量

 

半球形樣品的半徑測(cè)量 凹槽底部與參考線之間的高度測(cè)量

半球形樣品的半徑測(cè)量      凹槽底部與參考線之間的高度測(cè)量

 

記錄重復(fù)測(cè)量的步驟

宏注冊(cè)

可以將經(jīng)常使用的對(duì)齊和其它測(cè)量步驟組合并定義成單個(gè)宏按鈕,這樣每次啟動(dòng)顯微鏡后,無需從零開始。

宏注冊(cè)

 

重復(fù)執(zhí)行測(cè)量

通過根據(jù)已記錄的教學(xué)列表的指示,簡(jiǎn)單地移動(dòng)載物臺(tái)、獲取坐標(biāo)值,可以輕松地進(jìn)行重復(fù)測(cè)量,完成所有的作業(yè)。此功能可用于對(duì)相同類型樣品重復(fù)執(zhí)行相同的測(cè)量項(xiàng)目。此外,如果在已記錄的教學(xué)列表中設(shè)置了設(shè)定值和公差,當(dāng)測(cè)量值超過規(guī)格時(shí),軟件可以自動(dòng)判定。

測(cè)量結(jié)果

NG結(jié)果示例

 

重復(fù)執(zhí)行測(cè)量的測(cè)量點(diǎn)導(dǎo)航

這個(gè)功能可以顯示移動(dòng)到下***個(gè)測(cè)量點(diǎn)的方向和距離,從而消除了操作者在這***環(huán)節(jié)上的苦惱。該功能還省去了每此移動(dòng)前需要在圖紙上確認(rèn)下***個(gè)測(cè)量點(diǎn)的麻煩,在重復(fù)測(cè)量的時(shí)候提高了操作者作業(yè)的速度。

重復(fù)執(zhí)行測(cè)量的測(cè)量點(diǎn)導(dǎo)航 測(cè)量點(diǎn)導(dǎo)航

 

STM7導(dǎo)航指示器的變化

 

可以消除測(cè)量過程中主觀性影響的便捷功能

自動(dòng)邊緣檢測(cè)

這個(gè)功能檢測(cè)樣品的邊緣,自動(dòng)獲取樣品的坐標(biāo)并測(cè)量。因此,操作者不再需要指定坐標(biāo),這程度地降低了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量的影響。自動(dòng)邊緣檢測(cè)的另外***個(gè)特色是具有定時(shí)功能,實(shí)現(xiàn)了到規(guī)定的時(shí)間后自動(dòng)獲取坐標(biāo)。定時(shí)功能和腳踏開關(guān)功能,使操作者能夠在手不需要離開載物臺(tái)手柄的情況下專心測(cè)量。

圓形內(nèi)的自動(dòng)邊緣檢測(cè) 多點(diǎn)自動(dòng)邊緣檢測(cè)

圓形內(nèi)的自動(dòng)邊緣檢測(cè)         多點(diǎn)自動(dòng)邊緣檢測(cè)

 

異常點(diǎn)消除

邊緣檢測(cè)過程中,可以自動(dòng)將金屬毛刺等異常點(diǎn)排除在外。這樣,不管樣品的狀態(tài)如何,都會(huì)得出***致的測(cè)量值計(jì)算結(jié)果。此外,也可以將被排除的異常點(diǎn)以不同的顏色顯示在屏幕上。

帶有異常點(diǎn)的樣品 異常點(diǎn)消除功能

帶有異常點(diǎn)的樣品             異常點(diǎn)消除功能

 

照明控制

顯微鏡照明的光強(qiáng)也可以通過軟件精確地控制。當(dāng)注冊(cè)重復(fù)執(zhí)行測(cè)量的教學(xué)列表時(shí),也可以保存光強(qiáng)的設(shè)置,這樣在重復(fù)執(zhí)行測(cè)量或自動(dòng)邊緣檢測(cè)過程中,實(shí)現(xiàn)了在相同的照明條件下實(shí)施測(cè)量。

照明控制

 

自動(dòng)倍率識(shí)別(可選配,僅適用于編碼物鏡轉(zhuǎn)盤的配置)

通過使用編碼物鏡轉(zhuǎn)盤,在切換物鏡時(shí),可以自動(dòng)調(diào)用先前設(shè)定好的校準(zhǔn)值。這樣可以始終在顯示器上顯示合適的刻度尺。

自動(dòng)倍率識(shí)別

 

生成定制報(bào)告

***鍵生成報(bào)告

測(cè)量結(jié)果可以***鍵輸出為Excel格式,這避免了在記錄數(shù)據(jù)過程中發(fā)生錯(cuò)誤的可能性。圖像也可以與測(cè)量結(jié)果***起粘貼,從而實(shí)現(xiàn)了更高效地生成報(bào)告。

生成定制報(bào)告

 

可選功能:多圖拼接(MIA)功能

拼接多個(gè)圖像可以獲得***個(gè)具有高倍率的廣域圖像。因?yàn)閳D像是根據(jù)坐標(biāo)數(shù)據(jù)拼接而成,因此系統(tǒng)能夠產(chǎn)生高可靠度的圖像。

多圖拼接 多圖拼接

 

可選功能:景深擴(kuò)展(EFI)功能

對(duì)于具有不均勻、復(fù)雜表面形狀的樣品,EFI功能能非常有效地獲取在整個(gè)高度范圍內(nèi)都有良好聚焦的圖像。使用EFI功能時(shí),移動(dòng)Z軸獲得多張不同焦點(diǎn)位置的圖像,再進(jìn)行圖像處理,*后合成為***張全面對(duì)焦的圖像。如果使用電動(dòng)Z軸模塊可以實(shí)現(xiàn)***鍵自動(dòng)圖像合成。

景深擴(kuò)展

STM7規(guī)格參數(shù)

 


小型鏡架

中型鏡架

大型鏡架

光學(xué)系統(tǒng)

UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正)

顯微鏡鏡架

觀察方法

BF/DF/DIC/KPO*1

反射/透射

反射/透射

照明系統(tǒng)

白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明,功耗:10W

聚焦

電動(dòng)/手動(dòng)

手動(dòng) [手動(dòng)型]

電動(dòng) [電動(dòng)型]

行程

175 mm

145 mm*2

FOCUS按鈕: 粗移速度

8 mm/s [電動(dòng)型](來源:成貫儀器)

微調(diào)焦速度 (可變)

800 μm/400 μm/200 μm/50 μm(旋轉(zhuǎn)***周移動(dòng)量)4檔可選[電動(dòng)型]

測(cè)量高度

175 mm*3, 120 mm*4

145 mm*3,90 mm*4

物鏡

測(cè)量物鏡/金相物鏡

觀察筒

正像單目鏡筒,正像三目筒(100:0/0:100)

載物臺(tái)

行程

50(X)x50(Y)mm

200(X)x200(Y)mm

300(X)x300(Y)mm

100(X)x100(Y)mm

測(cè)量精度

50 mm行程:(3+L/50)μm

(3+4L/200)μm

(3+6L/300)μm

100 mm行程:(3+L/100)μm



計(jì)數(shù)器顯示

軸數(shù)

3軸

單位

毫米/微米/英寸/密耳

計(jì)數(shù)器顯示> 

*小分辨率

0.1μm(來源:成貫儀器)

外形尺寸

[手動(dòng)型]

466(寬)x583(長(zhǎng))x651(高)mm

606(寬)x762(長(zhǎng))x651(高)mm

804(寬)x1024(長(zhǎng))x686(高)mm

[電動(dòng)型]

466(寬)x583(長(zhǎng))x811(高)mm

606(寬)x762(長(zhǎng))x811(高)mm

804(寬)x1024(長(zhǎng))x844(高)mm

重量

[手動(dòng)型]

約84kg

約152kg

約277kg

[電動(dòng)型]

約92kg

約159kg

約284kg

備注

*1:簡(jiǎn)易偏光觀察 
*2:使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí),可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。(來源:成貫儀器)
*3:采用金相顯微鏡使用的物鏡
*4:采用測(cè)量顯微鏡使用的物鏡




產(chǎn)品參數(shù)


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