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　　透射電子顯微鏡是的提供在較高時(shí)間分辨率下得到原子***空間分辨率的實(shí)驗(yàn)手段。透射電子顯微鏡原位力學(xué)-電學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)是在標(biāo)準(zhǔn)外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)加裝掃描探針控制單元，通過(guò)探針對(duì)單個(gè)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行操控和力學(xué)、電學(xué)測(cè)量。并可在力學(xué)-電學(xué)測(cè)量的同時(shí)，動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征，極大地?cái)U(kuò)展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。

　　本系統(tǒng)包括掃描探針控制器（內(nèi)含電流前置放大器、納牛力傳感器）、原位測(cè)量樣品桿和高性能電腦與控制軟件。各方面指標(biāo)如下：

。

掃描探針操縱指標(biāo)

1. 粗調(diào)為壓電陶瓷慣性步進(jìn)。粗調(diào)范圍：XY 方向2.5mm，Z 方向1.5mm。

2. 細(xì)調(diào)為壓電陶瓷掃描方式。細(xì)調(diào)范圍：XY 方向18um，Z 方向1.5um。（細(xì)調(diào)范

圍允許±20%的誤差。）

3. 細(xì)調(diào)分辨率：XY 方向0.3nm，Z 方向0.02nm。

電學(xué)測(cè)量指標(biāo)

1. 包含***個(gè)電流電壓測(cè)試單元。

2. 電流測(cè)量量程范圍1nA-20mA， 9 個(gè)量程，*小電流分辨率：10fA。

3. 電壓輸出范圍：±10V 和±150V 兩個(gè)量程。

4. 自動(dòng)進(jìn)行電流-電壓（I-V）測(cè)量、電流-時(shí)間（I-t）測(cè)量，自動(dòng)保存。

力學(xué)傳感器指標(biāo)

1. 懸臂梁彈性系數(shù)范圍2.5N/m ~ 40N/m。

2. Z 方向位移1.5um，分辨率0.02nm。

3. 載荷分辨率優(yōu)于0.5nN（使用4N/m 懸臂梁時(shí)）。

4. 自動(dòng)測(cè)量力-距離曲線，自動(dòng)保存。

定制部分

1. 樣品載臺(tái)為可更換形式的力、電載臺(tái)

2. 可包含***個(gè)安裝金絲的電學(xué)測(cè)量樣品載臺(tái)

3. 可包含***個(gè)安裝銅環(huán)樣品的電學(xué)測(cè)量樣品載臺(tái)

注：以上指標(biāo)可能根據(jù)系統(tǒng)配置不同而略有變化