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 　　透射電子顯微鏡是的提供在較高時間分辨率下得到原子***空間分辨率的實驗手段。透射電子顯微鏡原位電學性能測試系統(tǒng)是在標準外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)加裝掃描探針控制單元，通過探針對單個納米結(jié)構(gòu)進行操控和電學測量。并可在電學測量的同時，動態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學組分、元素價態(tài)進行綜合表征，極大地擴展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。

　　本系統(tǒng)包括包括兩部分，分別是掃描探針控制器（內(nèi)含電流前置放大器）與原位測量樣品桿部分。

透射電子顯微鏡指標

• 保證透射電鏡原有的分辨率（非球差校正）；

掃描探針操縱指標

• 粗調(diào)范圍：XY方向3.0mm，Z方向1.5mm。

• 細調(diào)范圍：XY方向20um，Z方向2.0um。

• 細調(diào)分辨率：XY方向0.3nm，Z方向0.03nm。

電學測量指標

• 包含***個電流電壓測試單元。

• 電流測量范圍：0-20mA，5個量程。*小電流分辨率：30fA。

• 電壓輸出范圍：普通模式±10V，高壓模式±150V。

• 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。

注：以上指標可能根據(jù)系統(tǒng)配置不同而略有變化