通過(guò)半浸沒(méi)物鏡進(jìn)行高分辨率觀察和分析
半浸沒(méi)式(semi-in-lens)物鏡在低加速電壓下也能將電子束聚焦得很細(xì);浸沒(méi)式(in-lens)肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍壽命長(zhǎng),能獲得穩(wěn)定的電流,這兩者的結(jié)合使高分辨率觀察和高空間分辨率分析能夠兼顧。
通過(guò)柔和光束,以能量極低的入射電子束觀察樣品的淺表面
通過(guò)給樣品加以偏壓并照射電子束,能夠利用分辨率高于***般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以能量為數(shù)百電子伏的入射電子束對(duì)樣品的淺表面進(jìn)行高分辨率觀察,這是迄今為止未能實(shí)現(xiàn)的。
高性能電子光學(xué)系統(tǒng)能進(jìn)行快速、高精度的分析
電子光學(xué)系統(tǒng)采用了High Power Optics(高性能電子光學(xué)系統(tǒng))。不僅能進(jìn)行高分辨率觀察還可以進(jìn)行穩(wěn)定、快速、高精度的元素分析。
注:該儀器未取得中華人民共和***醫(yī)療器械注冊(cè)證,不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途