日立高分辨型雙束系統(tǒng)NX5000
價(jià) 格:詢價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2021-01-18 15:23
品 牌:型 號(hào):NX5000
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:1355
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產(chǎn)品介紹:
NX5000新型高分辨FIB-SEM雙束系統(tǒng)采用冷場(chǎng)發(fā)射電子槍和全新的Aquila α鏡筒,具有高分辨的觀察能力;同時(shí)大束流的離子槍和實(shí)時(shí)觀察功能使其具有超高的加工效率。獨(dú)特的第三束(Ar)加工可以避免樣品損傷,為超薄樣品和復(fù)雜的制備提供了新的解決方案,可以滿足納米材料、半導(dǎo)體材料、生物材料等多種樣品的快速、無(wú)損、精細(xì)加工。
主要特點(diǎn):
1. 高分辨冷場(chǎng)發(fā)射電子槍,實(shí)現(xiàn)高分辨觀察(0.7nm@15kV)
2. 全新的Aquila α鏡筒和多探測(cè)器實(shí)現(xiàn)不同觀察目的
3. 大束流(100nA)、高穩(wěn)定性離子槍實(shí)現(xiàn)快速加工
4. 實(shí)時(shí)觀察、多探針系統(tǒng)和7軸樣品臺(tái)等技術(shù)有效防止窗簾效應(yīng)
5. 第三束Ar的引入實(shí)現(xiàn)無(wú)損和超薄樣品的加工
6. 多種沉積氣體可選
7. 全自動(dòng)TEM樣品制備
應(yīng)用領(lǐng)域:
納米材料微加工
半導(dǎo)體及電子元器件加工
生命科學(xué)