jasco,橢圓率計
價 格:詢價
產(chǎn) 地:更新時間:2021-01-18 16:44
品 牌:型 號:M-210/220/230/240/550/ELC-300
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日本分光制的橢圓計配有日本分光產(chǎn)的PEM雙重鎖定方式和光伺服?光參考方式,實現(xiàn)高速性和高安定性。由于偏光素子的軸配置適合特別薄的膜和微小的偏光測量,所以主要用于向高集積化和高精細化發(fā)展的半導(dǎo)體及高機能光學薄膜等材料的評價。
◆規(guī)格
型號 | M-210 | M-220 | M-230 | M-240 | M-550 | ELC-300 |
測量方法 | PEM雙重鎖定方式、光伺服/光參照控制方式 |
分光器 | - | 雙單色器 自動波長驅(qū)動裝置 | 雙單色器 (260~900nm) 單單色器 (900~1700nm) 自動波長 驅(qū)動裝置 | 單單色器 自動波長 驅(qū)動裝置 | 雙單色器 自動波長 驅(qū)動裝置 |
測量波長 | He-Ne激光 (632.8nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260~860nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (240~700nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (26~900nm) 鹵素燈 (900~1700nm) | Xe光源 (350~800nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260~860nm) |
入射 角范圍 | 40b~ 90b 連續(xù)自動設(shè)定 (0.01b間隔) | 45b~ 90b 連續(xù)自動設(shè)定 (0.01b間隔) | 40b~ 90b 連續(xù)自動設(shè)定 (0.01b間隔) |
膜厚測量范圍 | 0~99999? |
測量時間 | 1msec以上 | 20μsec~16sec |
測量準確度* | 屈折率 ±0.01 |
膜厚 ±1? |
消衰S數(shù) ±0.01 |
*準確度是指測量時間100msec以上。另外、根據(jù)表面狀態(tài)、膜質(zhì)不同準確度也不同。 |
樣品室 | 樣品垂直放 | 樣品水平放 | 樣品垂直放 |
檢測器 | 檢光子(Glan-Taylor棱鏡) 紫外可見區(qū)域:光電子倍管 近紅外區(qū)域:InGaAs-PIN光電二極管(M-240) |