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HORIBA JY在線橢偏儀 In-situ series

價  格:詢價

產(chǎn)  地:更新時間:2021-01-18 16:44

品  牌:型  號:In-situ series

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儀器介紹:
在鍍膜或刻蝕的過程中,實時監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)(n,k)變化。
 
技術(shù)參數(shù):
?可實現(xiàn)快速、實時在線監(jiān)測樣品膜層變化
 
主要特點:
將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設(shè)備,可實現(xiàn):
? 動態(tài)模式:實時監(jiān)測膜厚變化
? 光譜模式:監(jiān)測薄膜的界面和組分


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