AQUILA公司NKD7000/8000橢偏儀 儀器簡介:
英***Aquila公司是世界的薄膜分析解決方案供應(yīng)商。
其NKD系列薄膜分析系統(tǒng)是世界上臺專為表征和分析薄膜涂層和基片而設(shè)計的光譜儀。適合測量多層薄膜的光學(xué)性能n(折射指數(shù))和k(消光系數(shù)),以及d(厚度)。
適合多種薄膜材料:介電、聚合物、半導(dǎo)體和金屬。
主要應(yīng)用在光學(xué)涂層, 半導(dǎo)體加工, 平板顯示器, 數(shù)據(jù)存儲產(chǎn)品, 建筑和高附加值玻璃, 包裝和裝飾材料, 光電器件等領(lǐng)域。
選件豐富,包括軟件選擇入射偏振光及其角度,甚至直徑大到100mm的樣品的X-Y方向上的自動掃描呈像。
AQUILA公司NKD7000/8000橢偏儀 技術(shù)參數(shù):
1.波長范圍:280nm-2300nm
2.光譜分辨率:1或2nm (可選)
3.層數(shù):多層
4.薄膜厚度范圍:5nm - 20μm
5.基體:透明,半透明或半吸收
AQUILA公司NKD7000/8000橢偏儀 主要特點:
1.同時測量反射和透射光譜
2.***體化的控制和分析軟件,計算基體中的多種反射
3.數(shù)據(jù)分析可選用***系列散射模型
4.內(nèi)置涂層性能數(shù)據(jù)庫,可編輯,可擴展
5.變角度測量,微光斑測量,樣品可控溫,樣品掃描測試