HORIBA In-situ series在線橢偏儀
價 格:詢價
產(chǎn) 地:更新時間:2021-01-18 16:45
品 牌:型 號: In-situ series
狀 態(tài):正常點擊量:2199
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HORIBA In-situ series在線橢偏儀
鍍膜或刻蝕的過程中,實時監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學常數(shù)(n,k)變化。
產(chǎn)品特點:
將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設(shè)備,可實現(xiàn):
? 動態(tài)模式:實時監(jiān)測膜厚變化
? 光譜模式:監(jiān)測薄膜的界面和組分
技術(shù)參數(shù):
可實現(xiàn)快速、實時在線監(jiān)測樣品膜層變化