光子晶體探測器型橢偏儀
價 格:詢價
產(chǎn) 地:更新時間:2021-01-18 16:45
品 牌:型 號:ME-210/110
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北京飛凱曼公司提供光子晶體探測器型橢偏儀。這種光子晶體探測器型的橢偏儀是有日本Photonic Lattice公司***創(chuàng),并應(yīng)用到橢偏儀的測試中。日本Photonic Lattice公司在光子晶體的研究和制造領(lǐng)域世界,由此開發(fā)出的光子晶體探測器型橢偏儀具有測試速度快、測量準(zhǔn)確、免維護、價格低廉等特點已經(jīng)在光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、有機薄膜等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。該橢偏儀可快速準(zhǔn)確測量薄膜的厚度和折射率的分布。
相比傳統(tǒng)的光譜型橢偏儀,光子晶體探測器型橢偏儀避免了探測器的機械運動。使得測試速度更快、測試更加準(zhǔn)確、成本更加低廉。
ME-210型光子晶體探測器型橢偏儀特點:
1) 可用于8英寸樣品的3D快速成像
2) 可用于厚度差異小于1nm以內(nèi)的薄膜的快速和高精度成像
3) 超高速測量,速度可達20000點/分鐘
4) 超高分辨率的測量,*小面積可達50um2
5) 可進行透明基底上的薄膜的測試
技術(shù)規(guī)格:
型號 | ME-210/110 |
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重復(fù)性精度 | 0.1nm(厚度), 0.001(折射率) |
測量速度 | 每分鐘1000個點以上 |
光源 | 636nm 半導(dǎo)體激光器 |
測量點尺寸 | 0.5mm2 |
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入射角 | 70度 |
樣品尺寸 | 8英寸(可選12英寸) |
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儀器尺寸和重量 | 650x650x1740mm/120kg |
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數(shù)據(jù)接口 | 千兆以太網(wǎng)(攝像機信號),RS-232C |
電源 | AC100-240V(50/60Hz) |
軟件 | SE-View |
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