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●采用雙重閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制,電機(jī)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)具有精確的定位性能。
●采用本公司開發(fā)的嵌入式模塊控制電機(jī),提高了電機(jī)響應(yīng)速度,還簡(jiǎn)化了儀器與PC機(jī)的接口,PC機(jī)與儀器USB線與S端子線連接。
●采用花崗巖平臺(tái),外觀簡(jiǎn)潔大方。
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技術(shù)參數(shù)
工作臺(tái) 金屬臺(tái)尺寸(mm) 450*280
玻璃臺(tái)尺寸(mm) 306*196
運(yùn)動(dòng)行程(mm) 250×150  
Z軸升降行程(mm) 150(調(diào)焦)
  X、Y、Z軸數(shù)顯分辨率                           0.0005mm
  X、Y坐標(biāo)示值誤差(μm):          ≤(3+L/75)
電機(jī)  三軸運(yùn)動(dòng)速度  100mm/s 
三維定位精度  0.001mm
影像系統(tǒng) 攝影機(jī)( 日本原裝 ) 雙焦物鏡倍率: 0.7~4.5×
視頻總倍率:  30~190x  物方視場(chǎng): 10.6~1.6mm
雙焦物鏡倍率:0.7~4.5X 視頻總倍率:30~190X

 


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