德***Sentech激動(dòng)掃描系統(tǒng) MDPpro

少子壽命測(cè)量儀器的特征在于以1mm分辨率對(duì)500mm的***個(gè)面在不到4分鐘內(nèi)完成掃描。電阻率和少子壽命的測(cè)量完全無觸摸。利用微波檢測(cè)光電導(dǎo)率(MDP)同時(shí)測(cè)量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和p/n導(dǎo)電類型的變化。

MPDPro設(shè)計(jì)用于對(duì)電特性進(jìn)行分析，在四分鐘的測(cè)量時(shí)間內(nèi)，對(duì)1毫米分辨率，500毫米磚磚(或晶片)自動(dòng)掃描。進(jìn)行完全非接觸測(cè)量。

MDPpro系列具有快速、靈活，自動(dòng)掃描多晶硅磚和晶片的穩(wěn)固設(shè)計(jì)。同時(shí)測(cè)量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和樣品平整度，所有測(cè)量圖形同時(shí)繪制。這個(gè)儀器的設(shè)置非常簡(jiǎn)單，僅需要電源。測(cè)量必要性包括了工作站與數(shù)據(jù)庫。樣品裝載可以手動(dòng)或由自動(dòng)系統(tǒng)來完成。在1mm分辨率下，156x 156 x 400 mm標(biāo)準(zhǔn)磚的測(cè)量速度小于4分鐘。電阻率自動(dòng)掃描選項(xiàng)具有長時(shí)間穩(wěn)定性而無需頻繁重新校準(zhǔn)。用于參考測(cè)量的校準(zhǔn)庫也是可用的。由于偏析和預(yù)期摻雜類型的過補(bǔ)償導(dǎo)致的導(dǎo)電類型轉(zhuǎn)換的空間分辨測(cè)量可以以高空間分辨率來研究。

該儀器被設(shè)計(jì)用于工藝和材料的質(zhì)量監(jiān)控，例如單晶或多晶硅。多晶硅磚切割標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)輸出。能夠根據(jù)爐子的輸出質(zhì)量進(jìn)行單獨(dú)的爐子監(jiān)控進(jìn)行優(yōu)化和決定投資。MDPpro是多晶硅磚生產(chǎn)商以及爐子技術(shù)生產(chǎn)商的標(biāo)準(zhǔn)儀器。

優(yōu)勢(shì)

• 脫機(jī)或晶圓的整體工具系列。少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率、p/n導(dǎo)電類型變化和幾何樣品平整度的同時(shí)自動(dòng)掃描。
• 對(duì)于156x 156 x 400 mm標(biāo)準(zhǔn)磚，測(cè)量速度小于4分鐘，分辨率為1mm，所有5幅測(cè)量圖形同時(shí)繪制。
• 堅(jiān)固耐用的設(shè)計(jì)和易于設(shè)置的性能。對(duì)于安裝，僅需要電源。帶有數(shù)據(jù)庫的工作站包含在下面的隔間中。