德***Klocke Nanotech 3D納米***三維測量儀3D Nanofinger
納米***三維測量儀(3D Nanofinger)俗稱納米三坐標(biāo)，是***種實用的納米精度坐標(biāo)和形貌綜合測量設(shè)備。由臺架、控制系統(tǒng)、探頭、針尖組成. 可測量樣品外形尺寸，表面輪廓、粗糙度等，并可與超精密微加工、微組裝系統(tǒng)組合，進行在線檢測、質(zhì)量控制等。系統(tǒng)可以根據(jù)樣品設(shè)定測量路徑，測量范圍達到厘米***甚至更大。現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于超精密機械加工、MEMS器件、半導(dǎo)體微電子加工、光學(xué)、分子生物學(xué)和精密工程。
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工作原理：
· Nanofinger傳感器是***個小的MEMS器件，用來監(jiān)測針尖和樣品之間的距離。這個距離小于10nm時，傳感器檢測到針尖和樣品之間的范德華力。此過程針尖跟樣品沒有接觸，即沒有任何損傷。
· Nanofinger的傳感器由***個特殊的，帶寬為幾kHz的高速電子控制系統(tǒng)驅(qū)動，閉環(huán)控制朝向樣品運動，增量為1nm直至達到理想的信號值（如，放大倍數(shù)為75%）。這時，位置信息以坐標(biāo)數(shù)據(jù)信息存儲下來。傳感器繼續(xù)運動，到達下***位置，任何時候，都是1nm增量的閉環(huán)控制。同時，在X.Y和Z方向都可以實現(xiàn)厘米的運動行程。
· 所有運動方向都實現(xiàn)1nm運動分辨率。線掃描后非常容易地獲得三維圖像。
應(yīng)用靈活：
· 3D-Nanofinger可以作為***個模塊，應(yīng)用到其他系統(tǒng)中。
· 可以構(gòu)建成***個獨立的納米***三維測量儀。
· 可以與Klocke公司的機械臂組合，安裝在SEM/FIB系統(tǒng)中，進行三維測量。“實時的圖像位置”模塊引導(dǎo)Nanofinger輕松到達鼠標(biāo)點擊的SEM圖像位置。
設(shè)備主要參數(shù)：
· 可選行程:
X = 20 or 50 mm2
Y = 20 or 50 mm2
Z = 10 or 20 mm2
采用花崗巖基底，XY方向行程擴展為： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2
· 測量特性：
運動分辨率： 1 nm
針尖分辨率： 0.5 nm
水平與豎直方向均配有操縱傳感器
線形輪廓測量
樣品內(nèi)部與外部輪廓測量
坐標(biāo)測量功能
· 測量用探針:
針尖型金屬絲, 尖端半徑 < 100 nm
鉤型金屬絲, 尖端半徑< 100 nm
圓形針尖, 直徑 0.12-0.3 mm
金剛石針尖, 如用于表面壓痕
· 軟件:
針尖自動校準(zhǔn)與逼近
2D 和 3D 圖形功能
工序設(shè)置，實現(xiàn)復(fù)雜動作自動控制（選項）
應(yīng)用圖例：
· 輪廓測量
二維和三維輪廓和表面精糙度參數(shù)
TFT LCD顯示行業(yè)的金字塔結(jié)構(gòu)
· 外形測量
沿內(nèi)部及外部形狀
1.4 mm直徑的內(nèi)螺紋
· 尺寸測量
確定物體的方位和尺寸
鉆床和磨床上使用的刀具刃部的三維圖像
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
