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硅片翹曲度測(cè)量?jī)x

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產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-18 19:35

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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

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翹曲度測(cè)量?jī)x特別為半導(dǎo)體晶圓(wafer)和太陽(yáng)能電池(solar cell)的翹曲度(warp) 和彎曲度(bow)以及表面形貌(topography)的測(cè)量而設(shè)計(jì),可以測(cè)量晶圓翹曲度(wafer warpage) 和晶圓表面形貌, 晶圓應(yīng)力,硅片張力,太陽(yáng)能電池量子效率.

是全球范圍內(nèi)功能強(qiáng)大的
儀器,***套儀器可以測(cè)量:熱沉,晶圓(wafer),太陽(yáng)能電池和玻璃的 翹曲度,應(yīng)力以及表面形貌。
適合光伏電池翹曲度測(cè)量,太陽(yáng)能電池翹曲度,晶圓翹曲度測(cè)量,硅片翹曲度測(cè)量,晶片翹曲度測(cè)量。


詳情瀏覽:http://www.felles.cn/jingyuanceshi/qiaoquduceshi.html

這套翹曲度測(cè)量?jī)x,翹曲度檢測(cè)儀,翹曲度測(cè)試儀既適合科研單位使用,也適合工業(yè)客戶大產(chǎn)品、高效率的晶圓翹曲度和表面形貌的檢測(cè)的需要。

我們還根據(jù)不同晶圓類型提供如下兩種硅片翹曲度測(cè)量?jī)x
1. 非反射型:適合晶圓表面覆蓋晶圓保護(hù)膜/膠帶(wafer tape),圖案化晶圓 /圖樣化晶圓(patterned wafer),粗糙的晶圓的應(yīng)用;
2. 高反射型: 適合晶圓表面光滑 / 鏡反射的應(yīng)用。

主要特點(diǎn):
× 適合不同尺寸的晶圓檢測(cè),從0.5’‘到12''的直徑;
* 標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)能力為: 每小時(shí)可檢測(cè)2000個(gè)晶圓或更多太陽(yáng)能電池;
× 同時(shí)測(cè)量多個(gè)晶圓或太陽(yáng)能電池;
× 測(cè)量鍍膜后的晶圓或solar cell;
* 分析太陽(yáng)能電池或晶圓應(yīng)力和張力;
*  對(duì)晶圓表面進(jìn)行圖像分析;
* 測(cè)量圖案化晶圓或非圖案化的晶圓;
*  具有太陽(yáng)能電池的量子效率測(cè)量選項(xiàng)供選擇

主要參數(shù):

× 翹曲度測(cè)量范圍:1-20微米;
* 重復(fù)精度: 百分之0.5 (1 sigma);
* 給出結(jié)果:曲率半徑,晶圓彎曲高度,翹曲度,測(cè)量日期和時(shí)間;
* RMS粗糙度mapping: 0.5-20A (可選項(xiàng));
*光源:根據(jù)用戶的應(yīng)用而配備不同光源;
* 探測(cè)器:高分辨率探測(cè)器陣列并配備亞像素軟件;

更多翹曲度測(cè)量測(cè)試儀器網(wǎng):http://www.felles.cn/jingyuanceshi.html
Email: info@felles.cn 或  felleschina@outlook.com
Web: www.felles.cn                    (激光光學(xué)精密儀器網(wǎng))
         www.felles.cc                     (綜合性尖端測(cè)試儀器網(wǎng))
         www.f-lab.cn                       (綜合性實(shí)驗(yàn)室儀器網(wǎng))

 


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