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SJ6000采用美***進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、 幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10 分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光 干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動態(tài)分析。

使用時(shí)，操作者先按照設(shè)計(jì)的幾何光路安裝相配合的鏡組，幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的，下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖：

邁克爾遜干涉儀的原理是***束入射光分為兩束后各自被對應(yīng)的平面鏡反射回來，這兩束光從而能 夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)整干涉臂長度以及改變介質(zhì)的折射率來實(shí)現(xiàn)，從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點(diǎn)的軌跡，因此，要 分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣，必求出相干光的光程差位置分布函數(shù)。

搭建好幾何光路后，在檢定軟件上設(shè)定測量的開始、結(jié)束位置，點(diǎn)擊“開始”按鈕，軟件界面會實(shí)時(shí)顯示測量所得動態(tài)數(shù)據(jù)；掃描結(jié)束后，操作者可通過對測量所得 數(shù)據(jù)曲線進(jìn)行分析，得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數(shù)。并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的檢測標(biāo)準(zhǔn)對被測件的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行合格判定，檢測結(jié)束后自動生成檢定 結(jié)果。