微位移測(cè)量激光干涉儀ZLM800
價(jià) 格：詢價(jià)
產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-01-19 09:17
品 牌：型 號(hào)：
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1249
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產(chǎn)品功能
ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于各種平臺(tái)和部件的微位測(cè)量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測(cè)、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)位移量和角度變化的檢測(cè)、光刻機(jī)幾何量的測(cè)量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量等，*多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。也可通過(guò)位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系測(cè)量檢測(cè)物體的振動(dòng)變化。
性能優(yōu)勢(shì) 技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào)：ZLM800 | 使用高性能PCI或單片機(jī)式數(shù)據(jù)處理器 |
| He-Ne激光平均波長(zhǎng)： | 632.8 nm |
| 激光穩(wěn)頻精度： | ***小時(shí)2x10-9（±0.002ppm） 壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm） |
| 系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）： | ±0.4ppm |
| 光束直徑： | 6mm （可選3.2mm） |
| 激光管突發(fā)輸出功率： | 5mW （激光等***2） |
| 每束光可測(cè)量的軸數(shù)： | *多6個(gè) |
| 線性測(cè)量距離： | 2m |
| 角度測(cè)量范圍： | ± 3.5＇ |
| 速度： | 2m/s |
| 加速： | 無(wú)限制 |
| 采樣頻率： | 內(nèi)部1MHz，外部40MHz |
| 預(yù)熱時(shí)間： | 10分鐘 |
| 位移測(cè)量分辨率： | 1.25nm |
| 位移測(cè)量精度： | ±0.4ppm （μ/m） |
| 角度測(cè)量分辨率： | 0.003μrad |
| 角度測(cè)量精度： | ±0.1ppm實(shí)測(cè)值 |
| 數(shù)據(jù)接口： | 積分信號(hào)
32 Bit （實(shí)時(shí)時(shí)間）
Dt » 20 ns |
| 數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)： | ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
| 工作環(huán)境： | 溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無(wú)冷凝 |
| 儲(chǔ)存環(huán)境： | 溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無(wú)冷凝 |
應(yīng)用案例
l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別，眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩***雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德***耶拿爾公司是其中的******。
l 全部部件皆在德***生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方******進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上******將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l 激光器壽命更長(zhǎng)，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，***小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。
l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。
l 計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l 采樣頻率更快，達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l 被測(cè)物體速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。
l 無(wú)加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。
l 信號(hào)延時(shí)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。
l 對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量，ZLM800型是理想的選擇。
以下是為中***科學(xué)院某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個(gè)應(yīng)用案例。在個(gè)案例中，用兩個(gè)3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個(gè)擺鏡的擺動(dòng)，實(shí)時(shí)測(cè)試兩個(gè)擺鏡對(duì)應(yīng)量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個(gè)案例中，用***個(gè)3軸角度干涉儀來(lái)測(cè)試擺鏡的鏡面擺動(dòng)情況，2個(gè)單軸位移干涉儀檢測(cè)***個(gè)兩軸位移平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)情況。
下述案例是為***內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測(cè)量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測(cè)物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測(cè)量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個(gè)目標(biāo)在Z方向的相對(duì)變化量。
ZLM800部分光路圖示例
從X、Y和Z方向同時(shí)測(cè)量被測(cè)物體的位移，其中X和Y在***個(gè)水平層面上
從X、Y和Z方向同時(shí)測(cè)量被測(cè)物體的位移，其中X和Y不在***個(gè)水平層面上
在水平方向同時(shí)測(cè)量出被測(cè)物體的位移、偏擺和俯仰角度變化（上圖）
在垂直方向同時(shí)測(cè)量出被測(cè)物體的位移、偏擺和俯仰角度變化（上圖）
同時(shí)從X和Y方向測(cè)量被測(cè)物體的位移變化（上圖）
同時(shí)從X和Y方向測(cè)量運(yùn)動(dòng)平臺(tái)兩個(gè)層面的位移變化（上圖）
同時(shí)從X和Y方向測(cè)量位移、偏擺和俯仰的角度的變化（1）
同時(shí)從X和Y方向測(cè)量位移、偏擺和俯仰的變化（2）
同時(shí)從X和Y方向測(cè)量位移、偏擺和俯仰的變化（3）
資料下載
復(fù)雜光路測(cè)量的應(yīng)用.pdf
系統(tǒng)應(yīng)用簡(jiǎn)介.pdf
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