生產(chǎn)線型原子層沉積機(jī)
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-01-19 15:36
品 牌：型 號(hào)：P-300S
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2078
400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司
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上海自提或三方快遞
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| P-300S 生產(chǎn)線型原子層沉積機(jī) |
| 詳細(xì)介紹 |
| PICOSUN P-300S Pro ALD
技術(shù)參數(shù)
襯底尺寸和類(lèi)型 ：300mm晶圓/單片
工藝溫度： 50 - 500 °C
基片傳送選件：。 半自動(dòng)裝載，用單片Load lock與磁力操縱桿實(shí)現(xiàn)
。25片晶圓盒對(duì)盒式全自動(dòng)裝載（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™ 300集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)
標(biāo)準(zhǔn) ：SEMI S2認(rèn)證
前驅(qū)體：。液態(tài)，固態(tài)，氣態(tài)，臭氧源
。等離子體（僅供200mm晶圓使用，*多4路氣體）
。前驅(qū)源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù)
。6條獨(dú)立源管線,*多加載8個(gè)前驅(qū)體源（*多12個(gè)前驅(qū)體源，加上plasma管路共7根獨(dú)立源管線）
重量：820 kg
尺寸：(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm
選件： 集群工具，PICOFLOW™擴(kuò)散增強(qiáng)，N2發(fā)生器，尾氣處理，定制設(shè)計(jì)，與工廠軟件連接服務(wù)。
驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn) ：。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為Al2O3工藝，
。其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應(yīng)用具體驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)如：
- 不均勻性
- 顆粒物含量
- 重金屬污染
- 電學(xué)性能
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| PICOSUN高產(chǎn)量的批量型工業(yè)用ALD系統(tǒng)
各種的批量產(chǎn)品裝載及自動(dòng)化選項(xiàng)ALD技術(shù)可以覆蓋各種形狀、各種表面的樣品，可以覆蓋*細(xì)小的地方，*難到達(dá)的地方。具有高度的保形性、均***性及***無(wú)針孔。這使得ALD可以應(yīng)用于各種行業(yè)里，實(shí)現(xiàn)各種表面的保護(hù)。ALD薄膜可以附著在各種表面上，例如金屬，玻璃，塑料，乃至纖維及粉末。作為氣相、低溫的沉積技術(shù)，ALD薄膜可以生長(zhǎng)在非常敏感的表面上，例如聚合物薄膜。
***，Picosun的ALD技術(shù)應(yīng)用在鐘表部件、珠寶、硬幣上進(jìn)行防著色，防腐蝕的裝飾涂層。在生物植入醫(yī)療部件上的生物兼容、生物活性涂層。致密、惰性、密封、彈性、透明的ALD薄膜技術(shù)挑戰(zhàn)傳統(tǒng)的膜生長(zhǎng)方式。在PCB防腐蝕保護(hù)、防摩損等領(lǐng)域，ALD層大大提升了部件的質(zhì)量、可靠性及壽命。
D 應(yīng)用
ALD U
 產(chǎn)品
應(yīng)用 . | |
滬公網(wǎng)安備31011502016460號(hào)
