2.技術(shù)主要組成部分
(1)曝光頭系統(tǒng)包括:
。 冷光橢球鏡;
。德*** OSRAM1000W 直流高壓汞燈;
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái);
。 光學(xué)系統(tǒng)(冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡);
。 冷卻風(fēng)扇。
(2)對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)包括:
。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái);
。(XY),轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái);
。 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu);
。 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu);
。 承片臺(tái) 3 個(gè): 4 英寸、6 英寸、8 英寸;
。 掩模夾 3 個(gè):5 英寸、7 英寸、9 英寸。
(3)CCD 對(duì)準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)包括:
。4 倍顯微鏡 2 只;
。照明光源 2 套;
。 CCD 相機(jī) 2 只;
。22 英寸液晶顯示器。
(5)電控系統(tǒng):
。 汞燈觸發(fā)電源(1000W);
。 單片機(jī)控制系統(tǒng);
。 控制柜桌。
(6)氣動(dòng)系統(tǒng)系統(tǒng)包括:
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān),電磁閥驅(qū)動(dòng),氣動(dòng)儀表等
(7)其他配置與附件
。真空泵***臺(tái);
??諌簷C(jī)***臺(tái);
。 配套氣管 10m