CM系列探針臺(tái)

產(chǎn)品簡介

CM系列 探針臺(tái)造型小巧，測量精度高，操作方便，符合人機(jī)工程學(xué)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)。

CM探針臺(tái)能夠勝任的測試有：

二、工作環(huán)境

l 探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上，是具有防震裝置的工作臺(tái)上，避免在高溫，潮濕激烈震動(dòng)，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。

l 使用*佳溫度范圍為5℃～40℃，*佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。

l 使用電源：220±10%，50~60Hz

三、技術(shù)參數(shù)：

1、主要性能參數(shù)：

探針夾具安裝：

● 使用配套螺絲將夾具傾仰安裝固定到探針座上，可以根據(jù)需要進(jìn)行上下調(diào)節(jié)位置

● 將探針座擺放在U型平臺(tái)上固定好，擰松傾仰夾頭4個(gè)螺絲，把夾具金屬桿放入限位孔內(nèi)，調(diào)整合適位置后擰緊螺絲

● 用鑷子夾住探針中部，將彈簧夾具的彈簧壓縮至探針固定孔露出，將探針插入固定孔，調(diào)整好位置后放松彈簧（注意：操作過程中不要觸碰到針尖，否則針尖會(huì)變彎）

                

                 （傾仰夾頭）                               （夾頭按需要可上下調(diào)節(jié)）

      （將此滑套往后推，用鑷子夾住探針推入夾針孔內(nèi)）         （將鎖緊螺母擰松，將夾具桿推入合適的位置）

配件

1、體式顯微鏡  （可選配高倍率晶相顯微鏡）

產(chǎn)品參數(shù)和特點(diǎn)：

①　鑒別力高，視場范圍大，景深長。

②　工作距離長至115mm。

③　左右目鏡屈光度可調(diào)正負(fù)5度，能滿足不同視力的操作者觀察。

④　 能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習(xí)慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。

⑤　本顯微鏡為連續(xù)變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。

⑥　 雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm.

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：

產(chǎn)品造型比較新穎。

機(jī)械特性優(yōu)越，操作舒適度高。

光學(xué)系統(tǒng)鑒別力達(dá)300線對(duì)以上，符合標(biāo)準(zhǔn)。

超長的工作距離位于***內(nèi)同行之***。

獨(dú)有的3A設(shè)計(jì)。

創(chuàng)見性人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì)，產(chǎn)品細(xì)節(jié)考慮全面。

3A特性：
密封性－－－－－－-防塵,防油防水污染
此種接口密封性設(shè)計(jì)能安全防塵防油防水或其它污染－－－－-這就減少了常規(guī)的維護(hù),從而降低了總的費(fèi)用.
防霉性－－－－－－使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境
此獨(dú)有的設(shè)計(jì)保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙
防靜電－－－－－－防靜電設(shè)計(jì)可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標(biāo)本被損壞,保證提高產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本
應(yīng)用領(lǐng)域：
教學(xué)示范，生物工程,IT產(chǎn)業(yè)檢測，材料分析等領(lǐng)域。

2、針座和探針夾具（可選）

3、JVC模擬CCD

特點(diǎn)

l 1/3寸CCD,44萬像素

l 535電視線的水平分辨率

l 0.7Lux的照度（F1.2，25%，AGC開啟）

l 50dB的高信噪比（AGC OFF）

l 內(nèi)置10bit 數(shù)字圖像處理器

Winfast XP100視頻采集卡  

特性

l 可選擇的影像來源信號(hào)

可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像

輸出設(shè)備，如錄放影機(jī)、***庭攝影機(jī)、雷射光碟機(jī)、

影音光碟機(jī)及CCD攝影機(jī)，提供全方位的解決方案。                        

l 可編輯剪接影像片段

可以從輸入的影像來源做即時(shí)的動(dòng)態(tài)捕捉或靜態(tài)補(bǔ)捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或***般的圖形檔，再透過類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關(guān)應(yīng)用軟體，便可加入各種***與剪接編輯

4、探針夾具

●  彈簧式 

使用便利，可用于較短時(shí)間的大電流（超過1安培）穩(wěn)定性好，采用進(jìn)口同軸線纜，精度漏電為10PA，輸出BNC（male）接頭

●  管狀式

測量微弱電流用，同時(shí)可接高壓，采用進(jìn)口triax線纜，前端管裝屏蔽結(jié)構(gòu)，漏電小于100FA，高壓可耐1000V（需要配合屏蔽箱）

5、探針

美***GGB

型號(hào)	針尖直徑	針桿直徑	針長	材質(zhì)	根/盒
軟針類:適用于集成電路內(nèi)部線路點(diǎn)針
T-4-5	0.2 微米	0.51mm	51mm	硬鎢材質(zhì)	5
	0.2微米直徑的針須焊接于鎳質(zhì)針桿上
T-4-10	0.7 微米	0.51mm	51mm	硬鎢材質(zhì)	5
	0.7 微米針須焊接于鎳質(zhì)針桿上
硬針類:適用于集成電路電極點(diǎn)針
ST-20-0.5	1 微米	0.51mm	38mm	硬鎢材質(zhì)	10
ST-20-1.0	2 微米	0.51mm	38mm	硬鎢材質(zhì)	10
ST-20-2.0	5 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬鎢/鈹銅材質(zhì)	10
ST-20-5.0	10 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬鎢/鈹銅材質(zhì)	10
ST-20-10	20 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬鎢/鈹銅材質(zhì)	10

6、真空泵

日東工器VP0125

規(guī)格：

l 電壓：AC220V

l 流量：7L/min            

l 真空度：-60KPa

l 質(zhì)量：0.7Kg

功能

l 提供真空動(dòng)力源。

l 配合 CHUCK上的真空吸附孔來固定樣品。

l 配合真空吸附型探針座，固定探針座。

特點(diǎn)

● 無油靜音，特別適合實(shí)驗(yàn)室和潔凈室使用。

● 7升/分鐘，可24小時(shí)無間斷運(yùn)轉(zhuǎn)。

7、防震桌      

特點(diǎn)：隔振支撐采用超薄復(fù)合材料氣囊、自定心準(zhǔn)無摩擦球頭擺桿和帶附加擴(kuò)散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動(dòng)水平，自動(dòng)充氣，全部氣動(dòng)執(zhí)行元件采用德***FEST0產(chǎn)品，靜音空氣壓縮機(jī)氣源、噪聲低。

應(yīng)用范圍：適用于對(duì)振動(dòng)要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。

技術(shù)參數(shù)：

臺(tái)面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)，采用ICR17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼

平臺(tái)表面粗糙度0.5?0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有頻率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重復(fù)定位精度±0.10 mm

工作壓力0.2~0.6(Mpa)

具體尺寸可根據(jù)客戶需求定制

8、屏蔽箱   

CINDBEST CB-6

 參數(shù)和特點(diǎn)

l 尺寸：880mm寬x710mm長x1140mm高

l 屏蔽光線和電磁干擾。

l 匹配探針臺(tái)和防震桌設(shè)計(jì)。

l 與探針夾具配合可將測試電信號(hào)的漏電精度達(dá)到100fa ，可抗2000V高壓。

l 屏蔽箱上配備轉(zhuǎn)接頭，便于在關(guān)閉屏蔽箱時(shí)線路在箱內(nèi)外的良好連接。

l 上掀式結(jié)構(gòu)，節(jié)約空間，操作便捷。

l 可根據(jù)客戶需求定制。

探針臺(tái)的使用方法

1、 將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。

2、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。

4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。

5、 待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。

6、 確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。

常見問題

 當(dāng)您使用本儀器時(shí)，可能會(huì)碰到***些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。

注意事項(xiàng)

1、避免碰撞

l 在安裝，操作CS探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。

2、儀器的運(yùn)輸

l 儀器運(yùn)輸時(shí)，請(qǐng)先拔掉電源線插頭。

l 儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。

3、儀器的存放

l 使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械精密部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。

l 探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。

l 探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí)，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時(shí)易燃物，注意使用安全。

l 停電或長期不用、外出旅行時(shí)，請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命.

l 操作人員必須嚴(yán)格按要求操作，以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。