探針臺(tái)的使用方法
1、 將樣載入空卡盤(pán),開(kāi)啟空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān),使樣安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。
2、 使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣。
3、 使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。
4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。
5、 待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。
6、 確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。
常見(jiàn)問(wèn)題
當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會(huì)碰到些問(wèn)題,下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。
癥狀 | 可能原因 | 解決方法 |
移動(dòng)樣后畫(huà)面變模糊 | 顯微鏡不垂直 | 調(diào)垂直顯微鏡 |
樣臺(tái)不水平 | 調(diào)水平樣臺(tái) |
樣不平 | |
顯微鏡視場(chǎng)亮度不足,邊緣切割或看不到像 | 轉(zhuǎn)換器不在定位位置上 | 把轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)到定位位置上 |
管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)不在定位位置上 | 把管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 調(diào)節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調(diào)大 |
沒(méi)有裝目鏡 | 裝上目鏡 |
沒(méi)有裝物鏡 | 裝上物鏡 |
顯微鏡像質(zhì)變差 | 目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟 | 對(duì)目鏡,物鏡,管鏡臟的地方進(jìn)行清潔 |
孔徑光欄關(guān)的太大或者太小 | 調(diào)節(jié)孔徑光欄 |
沒(méi)有調(diào)好焦 | 調(diào)節(jié)調(diào)焦手輪 |
樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì) | 移開(kāi)蓋玻片等介質(zhì) |
圖像邊清晰,邊模糊 | 樣本傾斜放置 | 放平樣本,或者調(diào)節(jié)樣臺(tái)水平 |
物鏡沒(méi)有旋緊 | 旋緊物鏡 |
眼睛容易疲勞 | 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 | 調(diào)節(jié)雙目頭的瞳距 |
| 目鏡視度調(diào)節(jié)不正確 | 調(diào)節(jié)目鏡視度 |
| 照明亮度不合適 | 調(diào)節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔 |