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高壓IGBT測(cè)試探針臺(tái)

價(jià)  格:詢(xún)價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-05-12 14:28

品  牌:其他型  號(hào):cm-4

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:1838

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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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探針臺(tái)的使用方法

1、 將樣載入空卡盤(pán),開(kāi)啟空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān),使樣安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。

2、 使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣。

3、 使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。

4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。

5、 待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。

6、 確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。

 

常見(jiàn)問(wèn)題

  當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會(huì)碰到些問(wèn)題,下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。

 

癥狀

可能原因

解決方法

移動(dòng)樣后畫(huà)面變模糊

顯微鏡不垂直

調(diào)垂直顯微鏡

樣臺(tái)不水平

調(diào)水平樣臺(tái)

樣不平

 

顯微鏡視場(chǎng)亮度不足,邊緣切割或看不到像

轉(zhuǎn)換器不在定位位置上

把轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)到定位位置上

管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)不在定位位置上

把管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)到定位位置上

照明的亮度不足

調(diào)節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調(diào)大

沒(méi)有裝目鏡

裝上目鏡

沒(méi)有裝物鏡

裝上物鏡

顯微鏡像質(zhì)變差

目鏡臟

物鏡臟

管鏡臟

對(duì)目鏡,物鏡,管鏡臟的地方進(jìn)行清潔

孔徑光欄關(guān)的太大或者太小

調(diào)節(jié)孔徑光欄

沒(méi)有調(diào)好焦

調(diào)節(jié)調(diào)焦手輪

樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì)

移開(kāi)蓋玻片等介質(zhì)

圖像邊清晰,邊模糊

樣本傾斜放置

放平樣本,或者調(diào)節(jié)樣臺(tái)水平

物鏡沒(méi)有旋緊

旋緊物鏡

眼睛容易疲勞

雙目頭的瞳距和操作者不匹配

調(diào)節(jié)雙目頭的瞳距

 

目鏡視度調(diào)節(jié)不正確

調(diào)節(jié)目鏡視度

 

照明亮度不合適

調(diào)節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔



產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹

IGBT高壓大電流探針臺(tái)規(guī)格如下:

卡盤(pán)

  6" 卡盤(pán),采用中心吸附孔和3圈吸附環(huán)固定樣,分別由3個(gè)開(kāi)關(guān)獨(dú)立控制

  卡盤(pán)X-Y的移動(dòng)范圍 6''X6'',移動(dòng)精度:10微米 

  卡盤(pán)可以 360 度旋轉(zhuǎn),細(xì)調(diào)精度不大于 0.1 度,帶有鎖定旋鈕

  Chuck 漏電低于 100fA , 平坦度誤差小于 5um 。

  Chuck 鍍金,用于做背電,可以進(jìn)行雙面測(cè)試

  卡盤(pán)臺(tái)可以上下快速升降4mm,便于樣快速分離探針


配件

進(jìn)口高壓大電流探針座

  精度2微米

  調(diào)節(jié)架可進(jìn)行30度以?xún)?nèi)的角度調(diào)節(jié)

 

  高壓大電流測(cè)試適用
 

SHV高壓夾具

  2.1m線(xiàn)纜(銅管TubulerType)接頭和客戶(hù)設(shè)備配

  50Ω阻抗,測(cè)試頻率直流-100Mhz
 

SHV高壓大電流探針

  電流范圍0-10A

  電壓范圍0-2kV

  漏電精度100fA

配備屏蔽箱

  有效屏蔽信號(hào)干擾和漏電,提升測(cè)試精度

  防止意外觸電




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