8寸晶圓測(cè)試探針臺(tái)
價(jià) 格:詢價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2021-05-12 14:10
品 牌:其他型 號(hào):CH-8
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:1380
400-006-7520
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8寸晶圓測(cè)試探針臺(tái)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):8 英寸大行程高精度移動(dòng)、針座平臺(tái)可快速升降、 4000 倍的光學(xué)放 大倍率、系統(tǒng)漏電精度高、可升***做射頻測(cè)試、高溫測(cè)試。
產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào) 技術(shù)參數(shù) | CH-8 | CH-12 |
臺(tái) 體 | 尺寸 | 8英寸 | 12英寸 |
| 水平旋轉(zhuǎn) | 可360度旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置 |
| X-Y移動(dòng)行程 | 8英寸*8英寸 | 12英寸*12英寸 |
| X-Y移動(dòng)精度 | 10微米/I微米 |
| 樣品固定 | 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán) |
| 針座平臺(tái) | *多可放置8個(gè)探針座 | *多可放置10個(gè)探針座 |
| 平臺(tái)升降 | 可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm |
| 背電極測(cè)試 | 樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極 |
顯微鏡 | 顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
| 移動(dòng)行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸行程50.8mm |
| 光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
| CCD | 200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素 |
探針座 | X-Y-Z移動(dòng)行程 | 12mm*12mm*12mm |
| 移動(dòng)精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
探針夾具 | 線纜 | 同軸線/三軸線 |
| 漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
| 接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
探針 | 針尖直徑 | 0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
| 材質(zhì) | 鴇鋼/皺銅 |
外形 | 840mm 長(zhǎng) *600mm 寬 *700mm 高 | 950mm 長(zhǎng) *700mm 寬 *700mm 高 |
重量 | 約100千克 | 約150千克 |
可選附件 | 加熱臺(tái) | 屏蔽箱 |
| 高壓測(cè)試配件 | 顯微鏡快速傾仰裝置 |
| 顯小器 | 光學(xué)平臺(tái) |
| 激光系統(tǒng) | 探針卡夾具 |
| 轉(zhuǎn)接頭 | 鍍金卡盤 |
| 射頻測(cè)試配件 | 光電測(cè)試配件 |
| 根據(jù)客戶要求定制 |
產(chǎn)品介紹
8寸晶圓測(cè)試探針臺(tái)
規(guī)格 |
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真空吸附型Chuck | 8" 不銹鋼 |
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Chuck X-Y軸行程 | 8" x8" |
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Chuck 旋轉(zhuǎn)角度 | 0~360 度 |
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針座平臺(tái)上下粗調(diào)行程 | 6mm 通過(guò)升降桿調(diào)整 |
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針座平臺(tái)上下細(xì)粗行程 | 25 mm 通過(guò)旋轉(zhuǎn)手輪 |
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針座平臺(tái) | 可以放置8個(gè)針座 |
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顯微鏡X-Y軸行程 | 2" x2" |
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需求 |
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電力 | 220 VAC, 60Hz |
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真空 | -250 mmHg, 7 liter/min |
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尺寸 |
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840mm長(zhǎng) x 660mm寬 x 700mm高(帶顯微鏡) |
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重 180 Kg(帶顯微鏡) |
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可選附件 |
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Chuck快速拉出裝置 |
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顯微鏡傾仰裝置 |
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激光修復(fù) |
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探針卡夾具 |
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加熱臺(tái) |
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高低溫樣品臺(tái)(-80-200℃) |
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防震桌 |
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顯微鏡暗場(chǎng) / Normarski 檢測(cè) |
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帶真空底座的活動(dòng)Chuck |
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光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件 |
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射頻測(cè)試探頭和線纜 |
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有源探頭 |
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低電流/電容測(cè)試 |
高壓測(cè)試/大電流測(cè)試 |
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CCD視頻系統(tǒng) |
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封裝器件夾具 |
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PCB板夾具 |
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液晶熱點(diǎn)偵測(cè)套裝 |
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屏蔽箱 |
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鍍金Chuck |
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