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CL系列總體規(guī)格                                                                              

 重量:

         CL-4 50KG左右（帶顯微鏡）

         CL-6 60KG左右（帶顯微鏡）

         CL-8 80KG左右（帶顯微鏡）

尺寸：

         CL-4約 560mm寬*610mm長(zhǎng)*550mm高（帶顯微鏡）  

         CL-6 約600mm長(zhǎng)*650mm寬*600mm高（帶顯微鏡）

         CL-8 約640mm長(zhǎng)*720mm寬*620mm高（帶顯微鏡）

CL系列探針座臺(tái)面規(guī)格

 探針臺(tái)臺(tái)面平整度：5μm。

 CL-4臺(tái)面可以同時(shí)容納8-10個(gè)探針座

  CL-6，CL-8分別可以同時(shí)容納10-12個(gè)探針座

  CL-12臺(tái)面可以同時(shí)容納12個(gè)以上探針座

卡盤（載物臺(tái)）規(guī)格  （可選配鍍金卡盤，高溫加熱卡盤）

卡盤尺寸分為4" ，6"，8"三種

卡盤平整度：5μm，采用空吸附方式吸附，帶空吸附孔，中心孔徑小可做到250微米（可根據(jù)客戶需求定制孔徑大小），小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，大能夠吸住尺寸為4"X4"（6"X6"，8"X8"）。

卡盤可30度旋轉(zhuǎn)，方便點(diǎn)測(cè)時(shí)樣品在X-Y軸方向上調(diào)平。（根據(jù)客戶需要可定制為360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕）。

卡盤X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為4"X4"（6"X6"，8"X8"），移動(dòng)精度為20um，配合針座的移動(dòng)可以保證wafer上的die都能夠準(zhǔn)確點(diǎn)測(cè)到。