技術(shù)指標(biāo):
1. 真空室的極限真空度達(dá)5*10-5pa,漏率為關(guān)機(jī)12小時(shí)≤5pa
2. 真空腔內(nèi)配有集約樣品臺(tái)***套,配有大擋板和16套小擋板,手動(dòng)
控制,開關(guān)方便快捷,每個(gè)小擋板擋兩塊30*30mm樣片
3. 蒸發(fā)源共14套,其中10套有機(jī)蒸發(fā)源,4套金屬蒸發(fā)源??販?!--!--[endif]---->
精度±1℃,可以實(shí)現(xiàn)溫度或電流補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率穩(wěn)定的功能
4. 金屬蒸發(fā)源配4臺(tái)***帶***1000W可控硅調(diào)壓電源,通過銅電極
連接,兩端可夾鎢絞絲或者鉭舟,鎢絞絲可以蒸鍍絲狀或者大顆粒
材料,鉭舟可以蒸鍍粉末狀材料,蒸發(fā)源采用陶瓷全密封,避免交
叉污染
5. 有機(jī)蒸發(fā)源配10臺(tái)***帶***溫控電源,有機(jī)源溫度為室溫-500度,
可以根據(jù)材料及用戶需求自行調(diào)節(jié)
6. 樣品臺(tái)具有旋轉(zhuǎn)、升降功能,可在線更換掩膜板***次,可同時(shí)裝
載30mm*30mm樣品16塊。本產(chǎn)品每?jī)蓚€(gè)樣品都配有小擋板,
并且通過PLC控制步進(jìn)電機(jī)對(duì)每個(gè)小擋板做16個(gè)定位,使機(jī)械手
推拉小擋板,樣品與蒸發(fā)源之間的間距為200-300mm