1.設(shè)備簡介
該設(shè)備是***款小型磁控濺射鍍膜儀，主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，對實(shí)驗(yàn)室供電要求低；該系列設(shè)備主要部件采用進(jìn)口或者***內(nèi)*優(yōu)的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運(yùn)行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。
該設(shè)備標(biāo)配2只Φ2英寸永磁靶，***臺500W直流濺射電源（用于濺射金屬導(dǎo)電材料），1臺300W全自動匹配射頻濺射電源（用于濺射絕緣材料），主要用來開發(fā)納米***單層及多層的金屬導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體膜以及絕緣膜等。
2.主要技術(shù)參數(shù)
2.1 腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接；
2.2 樣品臺尺寸：Ф100mm，高度：60～120mm可調(diào)，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)；可加熱至300℃；
2.3 真空系統(tǒng)：機(jī)械泵（TRP-12,3L/S）+進(jìn)口Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b電磁擋板閥，DN63mm 限流閥；
2.4 極限真空：8.0×10-5Pa；
2.5 真空抽速：大氣～8×10-4Pa ≤ 30min；
2.6 真空測量：全量程復(fù)合真空計，測量范圍：105Pa～10-5Pa；
2.7 磁控靶：Φ2英寸2只（含靶擋板），兼容直流電源和射頻電源；
2.8 濺射電源：1臺500W直流濺射電源和1臺300W全自動匹配射頻電源；
2.9 質(zhì)量流量計：進(jìn)口20sccm、50sccm質(zhì)量流量控制器各***套；
2.10 膜厚控制系統(tǒng)：進(jìn)口Inficon SQM-160單水冷探頭，精度0.1?（選配）；
2.10控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能；
2.11設(shè)備外形：L60cm×W60cm×H96cm機(jī)電***體化機(jī)架，預(yù)留1個CF35法蘭接口；
2.12 設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（***火***零***地）；
2.13 冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水；
3.設(shè)備主要配置表
真空腔室 | Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼 |
分子泵 | 進(jìn)口Pfeiffer分子泵 |
前***泵 | 機(jī)械泵，北儀優(yōu)成 |
真空規(guī) | 全量程真空規(guī)，上海玉川 |
濺射靶 | Ф2英寸永磁靶2支（含靶擋板），維意真空 |
濺射電源 | 500W直流濺射電源1臺，300W全自動匹配射頻電源1臺 |
流量計 | 20sccm/50sccm進(jìn)口WARWICK |
控制系統(tǒng) | PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套，維意真空 |
冷水機(jī) | LX-300，維意真空 |
前***閥 | GDC-25b電磁擋板閥1套，維意真空 |
旁路閥 | GDC-25b電磁擋板閥1套，維意真空 |
限流閥 | DN63mm***套，維意真空 |
充氣閥 | Φ6mm，電磁截止閥1套，維意真空 |
放氣閥 | Φ6mm，電磁截止閥1套，維意真空 |
基片臺 | Ф100mm，高度：60～120mm可調(diào)，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)，可加熱至300℃，維意真空 |
膜厚監(jiān)控儀 | 進(jìn)口Inficon SQM-160單水冷探頭，精度0.1?（選配） |
真空管路 | 波紋管、真空管道等1套，維意真空 |
設(shè)備機(jī)架 | 機(jī)電***體化，維意真空 |
預(yù)留接口 | CF35法蘭***個，維意真空 |
備件 | CF35銅墊圈及氟密封圈全套等，維意真空 |
4.設(shè)備主要優(yōu)勢
4.1 實(shí)用性：
4.1.1 設(shè)備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，可以放置于實(shí)驗(yàn)桌面上即可；
4.1.2通過更換設(shè)備上下法蘭可以實(shí)現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換，實(shí)現(xiàn)***機(jī)多用；
4.2 方便性：
4.2.1 設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡單，既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔性；
4.2.2 設(shè)備可將主機(jī)置于手套箱內(nèi)，水、電、氣等通過4個KF40接口接到手套箱外，與手套箱的對接靈活方便；
4.2.3 設(shè)備工作電壓為220V，整機(jī)功率小于2KW，對實(shí)驗(yàn)室的供電要求低；
4.3 穩(wěn)定性：
4.3.1設(shè)備主要零部件采用進(jìn)口或***內(nèi)知名品牌，保證了設(shè)備的質(zhì)量及穩(wěn)定性；
4.4 性：
4.4.1 獨(dú)立開發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)，具有智能控制模式和調(diào)試維修模式；
4.4.2 控制系統(tǒng)具備漏氣自檢與提示功能，當(dāng)設(shè)備漏氣時，系統(tǒng)會自動提示設(shè)備漏氣，以便用戶進(jìn)行檢漏，保證設(shè)備正常穩(wěn)定運(yùn)行；
4.4.3 控制系統(tǒng)具備保養(yǎng)維護(hù)提示功能，當(dāng)設(shè)備運(yùn)行達(dá)到***定時長，系統(tǒng)會自動提示設(shè)備需要維護(hù)保養(yǎng)，以便用戶及時進(jìn)行維護(hù)，保證設(shè)備正常穩(wěn)定運(yùn)行；
4.4.4 控制系統(tǒng)具備通訊故障自檢功能，系統(tǒng)對分子泵、濺射電源、真空規(guī)、電機(jī)、流量計等部件的通訊進(jìn)行自檢，如果某個部件出現(xiàn)故障，可以按照系統(tǒng)中的各部件故障查詢辦法進(jìn)行查詢，及時確認(rèn)故障原因，保證設(shè)備安全；
4.4.5 控制系統(tǒng)具備數(shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出功能，控制系統(tǒng)記錄設(shè)備的操作記錄及鍍膜過程數(shù)據(jù)，可以在系統(tǒng)中查看這些數(shù)據(jù)，也可以用U盤導(dǎo)出這些數(shù)據(jù)；
4.4.6 該系統(tǒng)具備三個等******密碼保護(hù)功能，不同等***不同使用權(quán)限，確保設(shè)備的安全性和數(shù)據(jù)的保密性；
5.設(shè)備安裝條件（用戶自備）
5.1 供電要求
5.1.1 設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（***火***零***地）；
5.1.2 插座距離設(shè)備尺寸≤2m；
5.1.3 其它：如用戶選配冷卻循環(huán)水機(jī)或其它選購件，用戶自行準(zhǔn)備增配件的供電要求，不在安裝條件范圍內(nèi)；
5.2供水要求
5.2.1 設(shè)備需水冷的部件有磁控靶、膜厚儀探頭（如選配膜厚控制系統(tǒng)）；
5.2.2 水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃；
5.3安裝場地大小要求
設(shè)備尺寸為：長×寬: L60cm×W60cm，建議安裝場地尺寸≥L60cm×W80cm。
5.4 其他要求
5.4.1 環(huán)境溫度：5～40℃；
5.4.2 環(huán)境濕度：＜85%R.H；
5.4.3 室內(nèi)無大量塵埃，無腐蝕性、易燃易爆氣體；
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
