SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀
SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀
非接觸三維表面形貌測(cè)量技術(shù)
白光干涉測(cè)量技術(shù)廣泛應(yīng)用于光滑與粗糙表面的三維形貌表征。垂直方向的測(cè)量精度可以達(dá)到納米***別。
SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀擁有納米***測(cè)試精度，外接PC或筆記本電腦進(jìn)行實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)分析。
SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀功能全面，輕松應(yīng)對(duì)各種測(cè)試環(huán)境。電動(dòng)XY雙軸樣品臺(tái)匹配自動(dòng)拼接程序，應(yīng)對(duì)大面積測(cè)試任務(wù)。典型應(yīng)用包括科學(xué)研究、質(zhì)量控制和工藝管理。
德***GBS公司SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀具備如下優(yōu)點(diǎn)：
通用型
精度高
測(cè)速快
穩(wěn)定可靠
自動(dòng)拼接
SmartWLI-擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀技術(shù)參數(shù)：
花崗巖基座、腳架
電動(dòng)X Y雙軸樣品臺(tái)（尺寸：226 x 232 mm2；移動(dòng)范圍：76 x 52mm2）
測(cè)量端配物鏡轉(zhuǎn)換臺(tái)、同時(shí)兼容4款物鏡
PC界面、Windows 7系統(tǒng)，NVIDIA圖形處理器具備超速運(yùn)算功能
SmartWLI形貌測(cè)量軟件、“自動(dòng)拼接”功能
MountainsMap三維圖像處理軟件
作為***款高品質(zhì)的表面成像與分析軟件，MountainsMAP適合實(shí)驗(yàn)室、研究機(jī)構(gòu)及工廠各類機(jī)能表面的設(shè)計(jì)、測(cè)試或制造設(shè)備使用。
MountainsMAP擁有***整套全面的解決方案，專用于表面外觀及形貌的成像與分析，提供詳盡的三維可視化測(cè)量報(bào)告。
SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀技術(shù)參數(shù)
測(cè)量系統(tǒng) |
量測(cè)原理 | 白光干涉 |
Z軸定位系統(tǒng) | 壓電效應(yīng)調(diào)節(jié)系統(tǒng) |
高度量測(cè)范圍 | ***大可達(dá)400 μm |
攝像頭參數(shù) | CCD攝像頭；1624x 1234相素 |
干涉物鏡系統(tǒng) |
放大倍數(shù)MAG 視場(chǎng)范圍FOV (mm) 橫向分辨率(um) | 2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 × 4.12 × 3.06 mm2 - 0.103 × 0.076mm2 10.54 μm - 0.55 μm |
光源 | LED |
測(cè)試時(shí)間 | 通常＜20秒 |
軟件系統(tǒng) |
|
SmartWLI | 基于微軟Win7操作系統(tǒng)，64位表面形貌測(cè)量軟件；三維數(shù)據(jù)可通過(guò)接口直接傳輸至MountainsMap分析軟件。 |
MountainsMap | 三維數(shù)據(jù)分析軟件，輪廓及三維影像結(jié)果輸出、測(cè)量數(shù)據(jù)預(yù)處理及后處理、德標(biāo)（DIN）歐標(biāo)（EN）ISO標(biāo)準(zhǔn)粗糙度及高度測(cè)定、串行處理及測(cè)試日志。 |
輸出文件格式 | ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF |
更多SmarWLI系列白光干涉三維輪廓儀產(chǎn)品信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.WinWinTec.com與www.smartWLI.de（2012年1月技術(shù)數(shù)據(jù)）
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