SmartWLI-Double Z-axis雙軸三維形貌輪廓儀
SmartWLI-Prime雙軸三維形貌輪廓儀
配備0.1nm高分辨率的小量程Z軸和小于100nm分辨率的大量程Z軸
該產(chǎn)品將兩種Z軸方向的移動控制模式整合在***起,是兩種模式***體化,可以實現(xiàn)兩種Z軸移動模式的自由切換,測量范圍從nm水平到mm水平,實現(xiàn)納米分辨率到亞微米分辨率,可測量不同類型的產(chǎn)品,適用于大輪廓形貌到微小形貌的多種應(yīng)用需求。
v產(chǎn)品特點
1.兩種Z軸移動控制模式,壓電陶瓷馬達控制小量程和步進電機控制大量程,整體測量范圍實現(xiàn)0.1nm~100mm;
2.小量程Z軸實現(xiàn)***大400um的測量范圍,測量分辨率在PSI模式下0.1nm;
3.大量程Z軸實現(xiàn)***大100mm的測量范圍,測量分辨率小于100nm;
4.Z軸方向移動的實現(xiàn)自動控制,通過相關(guān)軟件和控制手柄可自動對焦,同時Z軸采用自動拼接技術(shù),實現(xiàn)整體全自動測量;
5.標配壓電陶瓷馬達控制的Z軸測量頭,樣品垂直方向測量***大高度:400um,測量分辨率PSI模式:0.1nm,VSI模式:1nm;
6.可選配不同放大倍數(shù)的標準干涉物鏡(2.5X,5X,10X,20X,50X,100X);
配置控制和快速采集信號采集軟件SmartWLI_VIS。