MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器
價 格:詢價
產(chǎn) 地:更新時間:2021-03-29 17:22
品 牌:其他型 號:
狀 態(tài):正常點擊量:2386
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產(chǎn)品參數(shù)
性能
可用量程:大0-20 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,請參見零件編號標簽)
可調(diào)比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
標準精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)
高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)
可重復性:0.2%滿量程
標準控制器響應時間常數(shù):50-100ms(若有PID調(diào)節(jié)功能,可縮短至25ms)
氣動閥漏氣率(僅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(大值,氦氣)
無需預熱時間
工作條件
兼容氣體:98種(MCE/MCV系列)或130種(MCES/MCVS系列)預置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度:-10°C至+60°C
大內(nèi)部壓力(靜態(tài)):145 psig(160 psia)
耐受壓力:175 psig(190 psia)
STP/NTP:用戶可選(默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)