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MCQ系列高壓氣體質量流量控制器

價  格：詢價

產  地：更新時間：2021-03-30 17:01

品  牌：其他型  號：

狀  態(tài)：正常點擊量：2784

400-006-7520
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上海非利加實業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實業(yè)有限公司

電   話： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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MCQ系列高壓氣體質量流量控制器 性能

  • 可用量程：大0-5000 slpm；小0-10 sccm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）

  • 可調比：50:1

  • 校準精度（NIST可溯源）：±2%滿量程

  • 可重復性：0.2%滿量程

  • 標準控制器響應時間常數(shù)：50-100ms

  • 無需預熱時間


產品參數(shù)

MCQ系列高壓氣體質量流量控制器 工作條件

  • 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

  • 工作溫度：-10°C至+60°C

  • 大內部壓力（靜態(tài)）：305 psig（320 psia）

  • 耐受壓力：400 psig（415 psia）

  • STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）



產品介紹




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