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MC系列氣體質(zhì)量流量控制器性能

• 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）

• 可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）

• 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）

• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）

• 可重復性：0.2%滿量程

• 標準質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）

• 無需預熱時間

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器工作條件

• 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

• 工作溫度：-10°C至+60°C

• 大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）

• 耐受壓力：175 psig（190 psia）

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器包裝清單

• MC系列氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）

• NIST可溯源校準證書

• 艾里卡特操作說明書

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器

• 電源

• 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜

• BB3和BB9多點式集線盒

• Flow Vision軟件