入射到樣品表面的光經(jīng)薄膜上下表面多次干涉后從樣品表面出射，經(jīng)過光譜儀的采集，得到出射光光強(qiáng)，出射光光強(qiáng)與入射光光強(qiáng)之比值即為薄膜的反射率（），此反射率表現(xiàn)為波長的函數(shù)，得到反射率曲線。