AES俄歇電子能譜專輯之儀器設(shè)備篇
***、超高真空(UHV)系統(tǒng) 二、電子源系統(tǒng) 三、能量分析器系統(tǒng) 四、五軸樣品臺 五、離子槍
圖6.深度剖析結(jié)果對比:(左)Zalar Rotation,(右)非Zalar Rotation。
PHI 710作為納米尺度的表面分析技術(shù),提供了***高穩(wěn)定性的 AES 成像平臺。該系統(tǒng)集成了隔聲罩、低噪聲電子系統(tǒng)、穩(wěn)定的樣品臺和可靠的成像匹配軟件,可實現(xiàn)AES對納米***形貌特征的采譜和成像。此外,PHI 710具有強大的可擴展性,用戶可根據(jù)研究需求,靈活配置冷脆斷樣品臺、能量色散X射線能譜(EDS)、聚焦離子束(FIB)、電子背散射衍射(EBSD)和背散射電子(BSE)探測器等功能模塊。這些關(guān)鍵配置協(xié)同工作,共同賦予了PHI 710掃描俄歇納米探針系統(tǒng)無與倫比的分析能力與靈活性,使其成為材料科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域不可或缺的高端分析設(shè)備。
(文章來源于儀器網(wǎng))