掃描電鏡
Helios NanoLab 450 雙束掃描電鏡是***款先進的設備,專為半導體失效分析、工藝開發(fā)和工藝控制實驗室設計。以下是***些關鍵特性:
高分辨率成像與分析:Helios NanoLab 450 系列系統(tǒng)結合了創(chuàng)新的Elstar電子柱和UC技術,提供了亞納米***的SEM和STEM圖像分辨率。這使得設備能夠提供高對比度的高分辨率成像,這對于半導體失效分析至關重要。
雙束技術:該系統(tǒng)結合了SEM(掃描電子顯微鏡)和FIB(聚焦離子束),能夠進行高質量的成像和快速、精確的銑削與沉積。
快速、精確的樣品制備:Helios NanoLab 450S特別適合高通量、高分辨率的STEM樣品制備、成像和分析。其獨有的FlipStage和原位STEM探測器可以在幾秒鐘內將樣品從制備狀態(tài)翻轉到STEM成像狀態(tài),無需破壞真空或暴露樣品于環(huán)境中。
先進的離子柱技術:Tomahawk離子柱結合了高分辨率和出色的低電壓性能,不僅能夠實現(xiàn)***的離子圖像分辨率,還提供了精確的離子銑削,幫助確保在橫截面操作中不會破壞寶貴的缺陷信息。
自動化操作:該系統(tǒng)提供了自動化的設置和操作,簡化了使用流程,減少了培訓需求,并***大化了設備的使用效率,降低了擁有成本。
廣泛的應用領域:Helios NanoLab 450 雙束掃描電鏡適用于材料科學、微電子和半導體、汽車、實驗室測試設施、顯微鏡實驗室、機床制造商、鋼鐵工業(yè)、能源存儲和太陽能材料工業(yè)、文化遺產檢查、能源和石化公司等多個領域。
提高生產效率:通過提供更快、更好的圖像,Helios NanoLab 450 F1能夠減少開發(fā)成本,加速工藝提升,并更快地將新產品推向市場。
先進的STEM探測器:新的STEM探測器提供了更高的分辨率和更好的材料對比度,使得操作者能夠精確知道樣品何時足夠薄,有時甚至可以完全消除對獨立TEM分析的需求
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