衍射光學(xué)元件由于其特殊的性質(zhì)在各種光學(xué)系統(tǒng)中得到了越來越多的發(fā)展和應(yīng)用。對于成像光學(xué)系統(tǒng)中的衍射光學(xué)元件,通常采用單點金剛石車削的方法加工。在衍射光學(xué)元件加工的過程中,難免會產(chǎn)生***些加工誤差影響衍射效率。

衍射效率是評價衍射光學(xué)元件以及含有衍射光學(xué)元件的折衍射混合光學(xué)系統(tǒng)的重要指標(biāo)之***。光線通過衍射光學(xué)元件后,會產(chǎn)生多個衍射***次,***般只是關(guān)注主衍射***次的光線,其他衍射***次的光線在主衍射***像面上形成雜散光,降低像面的對比度。因此,衍射光學(xué)元件的衍射效率直接影響到衍射光學(xué)元件的成像質(zhì)量,對衍射光學(xué)元件衍射效率的準(zhǔn)確測量是十分必要的。

根據(jù)標(biāo)量衍射理論,當(dāng)光束從衍射光學(xué)元件的基底材料斜入射到空氣中時,單層衍射光學(xué)元件的第m衍射***次的衍射效率為

m 為衍射***次，d為衍射光學(xué)元件的表面微結(jié)構(gòu)高度，n（λ）為衍射光學(xué)元件的基底材料在波長為λ時的折射率。從式中可以看出，單層衍射光學(xué)元件的衍射效率只在設(shè)計波長處具有***的衍射效率；當(dāng)偏離設(shè)計波長時，衍射光學(xué)元件的衍射效率會明顯下降。

ARS角分辨散射測量可實現(xiàn)不同類型的衍射光柵測量，通過不同衍射***的光散射分布計算得到衍射效率。

注：文章來源于網(wǎng)絡(luò)，如有侵權(quán)，請聯(lián)系刪除