技術(shù)指標(biāo)
1.放大倍數(shù)范圍大(20X~ 20000X Digital Zoom:2x,4x,數(shù)字變焦120,000X)
2.分辯率:15nm
3.加速電壓: 1kv – 20kv
4.探測(cè)器: SEI(二次電子探測(cè)器),BEI(背散射電子探測(cè)器)/EDS(能譜儀)
5.圖像大?。?nbsp;4096×4096
6.圖像格式: JPG,TIFF,BMP,PNG
7.?dāng)?shù)據(jù)顯示: Micron Bar, Magnificaiton, Date, Kv
8.電壓: 110v或220v
9.自動(dòng)操作,自動(dòng)加高壓、調(diào)燈絲電流等
10.具有自動(dòng)圖像調(diào)整功能(自動(dòng)亮度/對(duì)比度,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)消像散等)
11.移動(dòng)范圍寬(X:20mm, Y:20mm, R:360, 高度可調(diào))
12.腔室盡寸大(最大樣品直徑為75 mm,樣品高度為15 mm,但通過(guò)定制樣品座可觀察更大樣品高度)
13.圖像儲(chǔ)存像素大(640×480, 1280×960, 2560×1920)
14.全自動(dòng)抽真空(渦輪分子泵+機(jī)械泵),無(wú)需冷卻循環(huán)水
15.預(yù)對(duì)中燈絲
16.可選性強(qiáng),可選配能譜儀EDS/波譜儀WDS
17.具有二次電子探測(cè)器(與通常大電鏡使用的探測(cè)器同,圖像質(zhì)量好),背散射電子探測(cè)器可選
18.NanoAnalysis軟件可選模塊,功能強(qiáng)大:
u 圖像獲取模塊
圖像處理
圖像分析
圖像操作
圖像過(guò)濾
粒子計(jì)數(shù)&篩分
熱成像
圖像測(cè)量/標(biāo)注
易于生成報(bào)告
自動(dòng)保存
u 元素分布圖
標(biāo)準(zhǔn)元素分布圖
超快繪圖
線掃描
點(diǎn)模式&多點(diǎn)
自動(dòng)分析(每個(gè)像素的圖譜)
ColorSEM-快速成像
重點(diǎn)成像
熱成像
容易生成報(bào)告
自動(dòng)保存
u 高級(jí)特征
化學(xué)鑒定
痕量靈敏度分析
關(guān)鍵測(cè)量
3D成像
3D測(cè)量
自動(dòng)分析(每個(gè)像素的譜圖)
遠(yuǎn)程會(huì)議
立體成像
同步分析
VideoSEM-視頻制作