***、情況簡介 :
CX-200系列掃描電鏡是在CX-100***核心技術(shù)基礎(chǔ)上,創(chuàng)新調(diào)整了產(chǎn)品構(gòu)架,性能進(jìn)***步提高,2010年圓滿實現(xiàn)預(yù)定研發(fā)目標(biāo),達(dá)到當(dāng)前同類產(chǎn)品的頂***水平,2011年初正式向市場推廣。作為COXEM公司***新主力型產(chǎn)品,共分為4個標(biāo)準(zhǔn)化子型號。
CX-200TA型全自動掃描電鏡:渦輪分子泵+自動臺
CX-200DA型全自動掃描電鏡:油擴(kuò)散泵+自動臺
CX-200TM型半自動掃描電鏡:渦輪分子泵+手動臺
CX-200DM型半自動掃描電鏡:油擴(kuò)散泵+手動臺
具有世界***流水平的CX-200系列高性能大型鎢燈絲掃描電鏡,適合多種需求類型的客戶選購。
在選購時,您需要考慮的問題:
實驗室掃描電鏡,在基本性能滿足需要情況,科學(xué)定義其優(yōu)劣的標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)該上升到掃描電鏡的工作效率問題,這個問題往往被忽視,***般只提性能如何優(yōu)越,然而優(yōu)越的性能是高效的基礎(chǔ)。
對掃描電鏡工作效率分析如下
1、搜索樣品感興趣點(diǎn)的速度,樣品臺自動化程度越高,效率越高。計算機(jī)導(dǎo)航坐標(biāo)定位馬達(dá)驅(qū)動系統(tǒng)要優(yōu)于單純的馬達(dá)驅(qū)動,馬達(dá)驅(qū)動要優(yōu)于手動。
2、高質(zhì)量圖像獲得的效率:電子光學(xué)系統(tǒng)的自動化,或者更高的性能來提高效率。如熱場發(fā)射掃描電鏡看2萬倍,可以在2TV掃描速度下,清晰成像,而鎢燈絲大型掃描電鏡看2萬倍圖像,要清晰成像,光保存***幀圖像需要20秒以上,還不要說調(diào)整電子光學(xué)參數(shù)的功夫,如果不明就里,拿過來兩個圖像來比較,可能很難分出伯仲,因此有的人會說,在2萬倍水平上,鎢燈絲掃描電鏡和場發(fā)射掃描電鏡區(qū)別不大,這個前提就是忽略客戶的效率需求,比如工廠做晶圓上的芯片檢測,這里邊就有了效率需要,雖然***般檢測可能只看2萬倍,但對效率提出很苛刻的要求,鎢燈絲根本不能勝任。
3、系統(tǒng)真空獲得的效率:渦輪分子泵相對擴(kuò)散泵具有明顯優(yōu)勢。
3.1、眾所周知,渦輪分子泵可隨時開關(guān)機(jī),油擴(kuò)散泵開關(guān)機(jī)受到泵油升溫和冷卻的限制(開關(guān)機(jī)***個來回至少要等50分鐘),因此要么就開***天,要么***開就至少半天,半天如果只需要做***個小樣,照***張照片,那效率就更低了;除非擴(kuò)散泵長期不關(guān)機(jī),例如2-3個月,真空泵總保持啟動,那么效率還是很高的,這需要特殊照顧。
3.2、真空潔凈度對效率影響:渦輪分子泵真空潔凈度遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于油擴(kuò)散泵。泵油蒸汽分子,在電子束作用下分解為碳?xì)浠铮廴緲悠泛湍?**光闌。電子束掃描樣品時,會被電子束誘導(dǎo)沉積到正在觀察的樣品區(qū)域表面,越高倍,沉積速度越快,污染降低se產(chǎn)額,從而降低成像分辨率;末***光闌在電子束作用下,***容易沉積污染物,污染的隨機(jī)變化,在高倍引起的象散需要隨時進(jìn)行校正。往往高倍需要逐***消象散,在***個區(qū)域調(diào)節(jié)電鏡參數(shù)到***佳,然后迅速電位移到就近區(qū)域掃描存儲圖像,這降低操作效率
3.3、也同樣是污染的原因,擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)掃描電鏡需要的維護(hù)周期要短得多,***般建議3個月維護(hù)***次,而同樣工作條件,渦輪分子泵真空系統(tǒng)的***般建議是1年維護(hù)***次。
綜上所述:在***次操作周期內(nèi)對效率影響***大的因素,自動化程度越高,效率越高。應(yīng)該是樣品臺的自動化程度和真空潔凈程度;電子光學(xué)性能需要定位,5000倍以下,不明顯,5000倍以上就顯示高分辨和自動化的優(yōu)勢。
通過以上簡單分析,對CX-200系列型號作如下推薦,原則是不至于讓您感到特別疲倦,讓您專注于材料的特征觀察分析。
1、如果您有大量的樣品要做,但要求管理維護(hù)簡單方便,應(yīng)該選擇***高效率的CX-200TA型,
2、如果您有大量的樣品要做,同時可以接受較短的維護(hù)周期,可以選擇CX-200DA型
3、如果您的樣品量不算大,但隨時想看,又不希望花過大精力照顧掃描電鏡,請選擇 CX-200TM型
4、如果您的樣品量不算大,可以安排專門操作人員“照顧”掃描電鏡,可以選擇更加經(jīng)濟(jì)的CX-200DM型
二、CX-200系列掃描電鏡主要功能特點(diǎn):
2.1、可實現(xiàn)功能:標(biāo)配SE形貌像,可選配 BSE探測器成像,WDS, EDS微區(qū)元素分析,+CCD樣品室監(jiān)控
2.2、基本性能特點(diǎn)
(1)、分辨率( 3.0nm@ 30kv ,10nm@ 3kv),錐形物鏡,長焦性能優(yōu)越。
(2)、中型樣品室內(nèi)部尺寸直徑為210mm,可同時接配多種探測器;
五軸精密機(jī)械對中樣品臺,自動或者手動控制。自動臺計算機(jī)導(dǎo)航控制,步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動精度19nm/步,Point & Go操作,具有坐標(biāo)定位系統(tǒng),點(diǎn)擊臨時存儲的圖像,樣品上的該位置能夠自動返回掃描視野中心;樣品上的z軸調(diào)節(jié)范圍5-65mm,實現(xiàn)對大型樣品,和很大高度梯度樣品的靈活操縱,使用自動臺,用戶可以實現(xiàn)對樣品更快速的評估和測量。
(3)、真空系統(tǒng)為渦輪分子泵真空系統(tǒng),高效清潔節(jié)能; 或者更具經(jīng)濟(jì)性的擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)。
(4)、全數(shù)字化電器控制系統(tǒng),與主機(jī)集成為***體,結(jié)構(gòu)緊湊,穩(wěn)定可靠,與計算機(jī)通訊采用USB/PCI接口。整機(jī)可輕松在很大范圍內(nèi)移動。
(5)、數(shù)字化掃描系統(tǒng),實現(xiàn)從實時基于電視掃描高速模式到高分辨圖像模式,這相對CX-100有了顯著提高。在照相模式下,具有支持采集 [5120 x 3840pixel]的能力。給您提供***好的視覺質(zhì)量。
(6)、自動控制:自動電子槍***大亮度,自動聚焦,自動消象散,自動亮度對比度控制,自動電子束對中,自動電子槍加飽和,自動偏壓,物鏡光闌自動搖擺對中合軸,增加了傾斜補(bǔ)償和自動聚焦功能。具有這些功能,用戶將能夠更輕松操作儀器。
(7)、GUI操作軟件:多種快捷按鈕,操作簡單方便,同時允許用戶自定義熱鍵,允許更高效的操作;圖像灰度直方圖實時顯示,可以幫助用戶保持***佳的圖像質(zhì)量;雙圖像顯示,允許用戶輕松比較不同圖像的差別;產(chǎn)品能夠使用MS-Office軟件生成報告,允許用戶創(chuàng)建數(shù)據(jù)。
三、競爭優(yōu)勢
CX-200系列掃描電鏡具有和諸如日立、JEOL、卡爾.蔡司、TESCAN同等***別的產(chǎn)品幾乎完全相同的品質(zhì),然而,我們公司正在銷售的這些型號更加經(jīng)濟(jì),更加友好 。
通過韓***領(lǐng)導(dǎo)納米發(fā)展的大學(xué)、研究機(jī)構(gòu)和工業(yè)企業(yè)的使用,已經(jīng)證明CX-100S產(chǎn)品具有優(yōu)良的性價比,而CX-200系列產(chǎn)品相對更加出色,更受客戶歡迎,2011年初已經(jīng)銷售10臺。
特別在售后服務(wù)方面,我們公司不僅有工程師,而且還有韓***科學(xué)技術(shù)院水平的研究人員參與為客戶服務(wù)。我們公司將重點(diǎn)放在這些研究人員的直接貢獻(xiàn)上,快速適應(yīng)客戶需要,改變社會,保持產(chǎn)品經(jīng)濟(jì)更好。我們公司也接受批評、建議或者意見,從而使我們產(chǎn)品的質(zhì)量像消費(fèi)者所希望的那樣更好。COXEM北京辦公室,配置專******的掃描電鏡應(yīng)用工程師和具有30年掃描電鏡制造維修經(jīng)驗的高***工程師,這***點(diǎn)相比再強(qiáng)大的競爭對手都毫不遜色,而且我們更加專業(yè)。
我們公司竭盡全力制造和發(fā)展客戶您所需要的掃描電鏡產(chǎn)品。我們真誠希望,如果您有樣品或者問題,您會和我們聯(lián)系,因為我們無論如何都愿意盡可能幫助您。