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easyScan DFM提供以下幾種測量模式
靜態(tài)力模式
動態(tài)力模式
相位對比模式
力調(diào)制模式
easyScan DFM的關(guān)鍵特點：                                
允許快速的、在原位無破壞性的、高分辨率的處理控制。
設(shè)計小巧、緊湊；使用簡便、舒適
所有的功能可以在***臺計算機(jī)上進(jìn)行
獨立的；適合大、小形狀各異的樣品
樣品自動進(jìn)場
與標(biāo)準(zhǔn)計算機(jī)串行端口連接（不需要接口卡）
特殊的掃描儀設(shè)計，確保低震動靈敏度

1. 兩種可供選擇的掃描頭
(1)  大掃描范圍                                                               
最大掃描范圍：X和Y方向110um x 110um
xy軸分辨率： 1.7nm
最大掃描范圍：  Z方向22um
z軸分辨率： 0.34nm
Z噪標(biāo)準(zhǔn)（RMS）：<0.4nm
(2)  高分辨率
最大掃描范圍：X和Y方向10um*10um
xy軸分辨率：0.15nm
最大掃描范圍：Z方向1.8um
z軸分辨率：0.027nm
Z噪音標(biāo)準(zhǔn)（RMS）：<0.07nm
掃描速度：1800個數(shù)據(jù)點/秒
傳感半徑：<15nm
典型負(fù)載：  10nN
掃描儀質(zhì)量：350g
反饋回路寬帶：3kHz
自動進(jìn)場范圍：5mm
沒有使用危險的高電壓
電子控制器
數(shù)據(jù)采集時，可以和任何標(biāo)準(zhǔn)計算計串行端口連接
三個軸都有16位的數(shù)據(jù)收集與控制系統(tǒng)
軸輸出電壓：+12V
掃描速度：1-20分/框
1024樣品/直線
動態(tài)頻率范圍：15-300KHz
動態(tài)頻率分辨率：15-300KHz
外部電源
功率消耗量25VA
電子控制器質(zhì)量2.5kg
軟件
軟件在Windows 9x/ME 或者 NT/2000/XP操作系統(tǒng)上運行
測量數(shù)據(jù)可以實現(xiàn)可視化
不同的窗體的掃描數(shù)據(jù)可以被同時顯示
線觀察，點觀察，三維觀察
在線數(shù)學(xué)計算功能（減，平均值等等）
類似于粗糙度（Ra，Rq）、頂點剖面、厚度、距離和幾何分析的數(shù)據(jù)分析
可以實現(xiàn)多數(shù)據(jù)輸出
定制顯示器、工作場所
安裝非常簡便